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TSI粒子計數(shù)器供氣系統(tǒng)中必*儀器
閱讀：793 發(fā)布時間：2015-8-24
TSI粒子計數(shù)器基本原理是光學傳感器的探測激光經塵埃粒子散射后被光敏元件接收并產生脈沖信號,，該脈沖信號被輸出并放大，然后進行數(shù)字信號處理，通過與標準粒子信號進行比較，將對比結果用不同的參數(shù)表示出來。空氣中的微粒在光的照射下會發(fā)生散射，這種現(xiàn)象叫光散射,。TSI粒子計數(shù)器光散射和微粒大小、光波波長,、微粒折射率及微粒對光的吸收特性等因素有關,。但是就散射光強度和微粒大小而言，有一個基本規(guī)律,，就是微粒散射光的強度隨微粒的表面積增加而增大,。這樣只要測定散射光的強度就可推知微粒的大小,，實際上，TSI粒子計數(shù)器每個粒子產生的散射光強度很弱,，是一個很小的光脈沖,，需要通過光電轉換器的放大作用，把光脈沖轉化為信號幅度較大的電脈沖,，然后再經過電子線路的進一步放大和甄別,，從而完成對大量電脈沖的計數(shù)工作。此時,，電脈沖數(shù)量對應于微粒的個數(shù),，電脈沖的幅度對應于微粒的大小。這就是光散射式粒子計數(shù)器的基本原理,。
進入TSI粒子計數(shù)器的入口樣本對計數(shù)器的分辨率起著至關重要的作用,。入口有兩種類形：一種是扁平的(寬10mm，高0.1mm),，另一種是內徑為2-3mm的圓形,。
入口噴嘴為扁平的時，通常激光束是一條與噴嘴同軸的窄線,。扁平噴嘴出來的氣流速度相當均勻,，TSI粒子計數(shù)器通過激光束中zui強而且zui均勻的部分，因此精度zui高,。但是,，扁平噴嘴的橫截面小，意味著要求真空度高于圓形噴嘴,，這樣會增加能耗(這點非常重要，特別是在采用電池供電時),。扁平噴嘴的制造比較復雜,，價格也較高，而且它和激光之間的配合也是一個問題,。
入口噴嘴為圓形時,，激光束則通常與入射口的軸線大致成直角。粒子會通過一個非常狹窄,，強度很高的激光面,。圓形噴嘴比較簡單，因為TSI粒子計數(shù)器的橫截面較大,，對于速度相同的氣流,，對真空度的要求也較低，所以當空氣吸入時,，能耗也較小,。相對于扁平噴嘴,，氣流速度較低意味著每個粒子散射的光也更多。形噴嘴的缺點在于它會降低氣流的均勻性,，而且激光束的功率不是均勻的;光束會變粗,，因而精度較低。
TSI粒子計數(shù)器可分析0105μm粒徑顆粒雜質,，目前已有可檢測超高純氣中01005μm的粒子計數(shù)器,。計數(shù)器是一種利用光的散射原理進行塵粒計數(shù)的儀器。一定流量的含塵氣體通過一束強光,，使粒子發(fā)射出散射光,，經過聚光透鏡投射到光電倍增管上，將光脈沖變?yōu)殡娒}沖,，由脈沖數(shù)求得顆粒數(shù),。根據(jù)TSI粒子計數(shù)器粒子散射光的強度與粒徑的函數(shù)關系得出粒子直徑，是高純或超高純供氣系統(tǒng)中必*儀器,。