真空泵是指利用機械、物理,、化學(xué)或物理化學(xué)的方法對被抽容器進行抽氣而獲得真空的器件或設(shè)備。通俗來講,真空泵是用各種方法在某一封閉空間中改善,、產(chǎn)生和維持真空的裝置,。其廣泛用于冶金、化工,、食品,、電子鍍膜等行業(yè)。
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?、殴ぷ鲿r產(chǎn)生的振動對工藝過程及環(huán)境有無影響,。若工藝過程不允許,應(yīng)選擇無振動的泵或者采取防振動措施,。
?、屏私獗怀闅怏w成分,氣體中含不含可凝蒸氣,,有無顆?;覊m,有無腐蝕性等,。選型時,,需要知道氣體成分,針對被抽氣體選擇相應(yīng)的泵,。如果氣體中含有蒸氣,、顆粒、及腐蝕性氣體,,應(yīng)該考慮在泵的進氣口管路上安裝輔助設(shè)備,,如冷凝器、除塵器等,。

?、窃谄涔ぷ鲏簭娤拢瑧?yīng)能排走真空設(shè)備工藝過程中產(chǎn)生的全部氣體量,。
?、扔捎谄溆羞x擇性抽氣,因而,,有時選用一種泵不能滿足抽氣要求,,需要幾種泵組合起來,互相補充才能滿足抽氣要求,。如鈦升華泵對氫有很高的抽速,,但不能抽氦,而三極型濺射離子泵,,(或二極型非對稱陰極濺射離子泵)對氬有一定的抽速,,兩者組合起來,,便會使真空裝置得到較好的真空度。另外,,有的不能在大氣壓下工作,,需要預(yù)真空;有的出口壓強低于大氣壓,需要前級泵,,故都需要把泵組合起來使用,。
⑸真空設(shè)備對油污染的要求,。若設(shè)備嚴(yán)格要求無油時,,應(yīng)該選各種無油泵,如:水環(huán)泵,、分子篩吸附泵,、濺射離子泵、低溫泵等,。如果要求不嚴(yán)格,,可以選擇有油泵,加上一些防油污染措施,,如加冷阱,、障板、擋油阱等,,也能達(dá)到清潔真空要求,。
⑹每種泵都有一定的工作壓強范圍,,
?、吮门懦鰜淼挠驼魵鈱Νh(huán)境的影響如何。如果環(huán)境不允許有污染,,可以選無油的類型,,或者把油蒸氣排到室外。
?、唐涔ぷ鲏簭姂?yīng)該滿足真空設(shè)備的極限真空及工作壓強要求,。
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