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北京北信科遠儀器有限責任公司
主營產(chǎn)品： 搖擺式脫色搖床,實驗室電子分析天平,一體涂層測厚儀 |
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聯(lián)系電話
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主營產(chǎn)品： 搖擺式脫色搖床,實驗室電子分析天平,一體涂層測厚儀 |
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數(shù)字式四探針測試儀 薄層電阻測定儀
型號：SN/RTS-4
產(chǎn)品簡介：
數(shù)字式四探針測試儀運用四探針測量原理的多用途綜合測量設備,。該儀器按照單晶硅物理測試方法國家標準并參考美國 a.s.t.m 標準而設計的,，于測試半導體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器,。
儀器由主機、測試臺,、四探針探頭,、計算機等部分組成，測量數(shù)據(jù)既可由主機直接顯示,，亦可由計算機控制測試采集測試數(shù)據(jù)到計算機中加以分析,，然后以表格，圖形方式統(tǒng)計分析顯示測試結(jié)果,。
數(shù)字式四探針測試儀 薄層電阻測定儀北京供應儀器采用了電子技術進行設計,、裝配。具有功能選擇直觀,、測量取數(shù)快,、精度高、測量范圍寬,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點,。
本儀器適用于半導體材料廠,、半導體器件廠,、科研單位、高等院校對半導體材料的電阻性能測試,。
四探針軟件測試系統(tǒng)是一個運行在計算機上擁有友好測試界面的用戶程序,，通過此測試程序輔助使用戶簡便地進行各項測試及獲得測試數(shù)據(jù)并對測試數(shù)據(jù)進行統(tǒng)計分析。
測試程序控制四探針測試儀進行測量并采集測試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計算機中加以分析,，然后把測試數(shù)據(jù)以表格，圖形直觀地記錄,、顯示出來,。用戶可對采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到excel中,，讓用戶對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析
數(shù)字式四探針測試儀 薄層電阻測定儀北京供應技術參數(shù)：
測量范圍：電阻率：0.0001～2000ω.cm(可擴展),；
方塊電阻：0.001～20000ω/□(可擴展)；
電導率：0.0005～10000 s/cm,；
電阻：0.0001～2000ω.cm,；
可測晶片直徑：140mmx150mm(配s-2a型測試臺)；
200mmx200mm(配s-2b型測試臺),；
400mmx500mm(配s-2c型測試臺),；
恒流源：電流量程分為0.1ma、1ma,、10ma,、100ma四檔，各檔電流連續(xù)可調(diào)
數(shù)字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mv,；
分辨力：10μv,；
輸入阻抗：>1000mω；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示,；極性、超量程自動顯示,；
四探針探頭基本指標：間距：1±0.01mm,；
針間絕緣電阻：≥1000mω；
機械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；
數(shù)字式四探針測試儀 薄層電阻測定儀北京供應應用參數(shù)：(見探頭附帶的合格證)
模擬電阻測量相對誤差（按jjg508-87進行）：0.1ω,、1ω,、10ω、100ω小于等于0.3%±1字
整機測量zui大相對誤差：(用硅標樣片：0.01-180ω.cm測試)≤±5%
整機測量標準不確定度：≤5%
測試模式：可連接電腦測試也可不連接電腦測試
軟件功能（選配）：軟件可記錄、保存,、打印每一點的測試數(shù)據(jù),，并統(tǒng)計分析測試數(shù)據(jù)zui大值、zui小值,、平均值,、zui大百分變化、平均百分變化,、徑向不均勻度,、并將數(shù)據(jù)生成直方圖，也可把測試數(shù)據(jù)輸出到excel中,，對數(shù)據(jù)進行各種數(shù)據(jù)分析,。軟件還可選擇自動測量功能，根據(jù)樣品電阻大小自動選擇適合電流量程檔測試,。
計算機通訊接口：并口,，高速并行采集數(shù)據(jù)，連接電腦使用時采集數(shù)據(jù)到電腦的時間只需要1.5秒
標準使用環(huán)境：溫度：23±2℃,；相對濕度：≤65%,；無高頻干擾；無強光直射,。
