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北京北信科遠(yuǎn)儀器有限責(zé)任公司
主營產(chǎn)品： 搖擺式脫色搖床,實(shí)驗(yàn)室電子分析天平,一體涂層測厚儀 |
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北京北信科遠(yuǎn)儀器有限責(zé)任公司
主營產(chǎn)品： 搖擺式脫色搖床,實(shí)驗(yàn)室電子分析天平,一體涂層測厚儀 |
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| 參考價 | 面議 |
更新時間：2024-10-26 16:36:24瀏覽次數(shù)：1053
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| 產(chǎn)地類別 | 國產(chǎn) |
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石英管式微波等離子體裝置
型號：GH/FM-CVD
北京石英管式微波等離子體裝置該設(shè)備利用頻率為2.45GHz的微波激勵稀薄氣體放電,，從而產(chǎn)生等離子體。真空反應(yīng)室為Φ50mm的石英管腔體,。放置樣品的基片臺可以方便地在反應(yīng)腔體內(nèi)上下升降調(diào)節(jié),。
北京石英管式微波等離子體裝置基片臺位于石英管反應(yīng)腔體的中心，該基片臺除了基本的上下升降功能外,，同時具有水冷控溫的功能,，雙層水冷支架與基片臺可方便地拆卸與維護(hù)，即使樣品以不同的形態(tài)（片狀,、塊狀,、粉末狀等）出現(xiàn)，更換或改裝基片臺也十分方便,。
石英管反應(yīng)腔兩端有雙層水冷套作降溫保護(hù),，端口以不銹鋼部件固定并密封（加橡膠）石英腔體,，以確保反應(yīng)腔的安全穩(wěn)定工作,。
該設(shè)備的真空系統(tǒng)采用2XZ-2型旋片真空泵，極限真空6×10－1帕,，抽速2升/秒,，額定轉(zhuǎn)速1400轉(zhuǎn)/分，機(jī)械泵與真空室之間設(shè)置有電磁閥和高真空隔膜閥，旁路管道設(shè)置另一隔斷閥（高真空微調(diào)閥）,，以便于真空系統(tǒng)運(yùn)行安全及工作時反應(yīng)氣體壓強(qiáng)的靈活控制,。真空密封采用金屬和橡膠密封，通常：相對不動接口采用金屬銅密封,，相對可動接口采用橡膠密封,。
真空測量采用數(shù)字壓阻式真空計，用來測量反應(yīng)腔內(nèi)的工作氣壓,。
主要電氣配置：
1) 真空泵：2XZ-2型旋片真空泵采用單相220V交流電源,，對實(shí)驗(yàn)室電源無特殊要求。
2) 磁控管：采用工業(yè)上通用的磁控管,，該磁控管具有使用壽命長,、可靠性高的特點(diǎn)，維護(hù)方便,。
3) 真空計：采用壓阻式真空計,，用于測量工作時的工作氣壓。
4) 溫控儀：用于冷卻水循環(huán)系統(tǒng)中的制冷及水溫控制,。
5) 500W微波功率源：通過調(diào)節(jié)磁控管陽極電壓的方法調(diào)節(jié)微波功率的輸出,，利用簡單、可靠,、易維護(hù)的電路實(shí)現(xiàn)微波功率的連續(xù)可調(diào)輸出,。
6) 冷卻水：裝置自帶循環(huán)冷卻水，對實(shí)驗(yàn)室無水源要求,，既節(jié)水又方便,。
二、技術(shù)參數(shù)及特性1. 反應(yīng)室工作壓強(qiáng)：幾百帕～十千帕
2. 反應(yīng)室極限壓強(qiáng): 6×10－1帕3. 反應(yīng)室尺寸： Φ50mm
4. 微波功率： 0～500W5. 基片溫控： 200～1000℃
外形尺寸 1.4*1.5*0.6立方米（mm）
測量范圍 0.500W（Ω）
