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當(dāng)前位置：島津企業(yè)管理（中國）有限公司>>表面分析>>掃描探針顯微鏡>> OLS4100 3D測量激光顯微鏡
開拓了激光顯微鏡的界限,。
－總是值得信賴的影像和測量－
OLS4100 3D測量激光顯微鏡的優(yōu)勢
非接觸式、無損,、快速成像和測量
| ○ 非接觸式,、無損測量 激光掃描顯微鏡（LSM）采用低功率激光，不接觸樣品,。因此,，不像基于探針系統(tǒng)的接觸式表面粗糙度測量儀那樣存在損壞樣品的風(fēng)險。 |  |
| ○ 無需前期準(zhǔn)備即可成像 掃描電子顯微鏡（SEM）在觀察之前需要進(jìn)行前期的樣品準(zhǔn)備,，如真空脫水和/或切片處理,，使之適合樣品室。而LSM則無需前期的樣品準(zhǔn)備即可對樣品進(jìn)行測量,。而且,，將樣品放置在載物臺上之后，即可直接開始成像,。 |  |
的XY測量
| ○ 在XY平面精確測量亞微米級的距離 干涉儀是基于普通白光的光學(xué)顯微鏡，它的平面分辨率不高,。而LSM通過采用更大數(shù)值孔徑的物鏡和更小波長的光波,，極大地提高了平面分辨率。并且通過高精度的激光控制技術(shù),，獲得更為精確的樣品表面形貌,。根據(jù)拍攝到的圖像，LSM可以進(jìn)行非常精確的XY平面亞微米測量,。LEXT OLS4100達(dá)到了0.12μm的平面分辨率,。 |  |
的Z軸測量
| ○ 在Z方向上精確測量亞微米級的高度 | SEM可以拍攝到超高分辨率的影像，但是無法得到高度信息,。LSM采用短波長半導(dǎo)體激光和*的雙共焦光學(xué)系統(tǒng),，會刪除未聚焦區(qū)域的信號，只將聚焦范圍內(nèi)的反射光檢測為同一高度,。同時結(jié)合高精度的光柵讀取能力,，可以生成高畫質(zhì)的影像,，實現(xiàn)精確的3D測量。LEXT OLS4100達(dá)到了10nm的高度分辨率,。
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