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SPM-Nanoa原子力顯微鏡性能特點:
自動觀察
自動完成光路調(diào)整,、掃描參數(shù)設定,、圖像處理
使用標準樣品和標準探針時操作用時5分鐘*
*自動觀察模式,掃描范圍1um× 1um ,,256×256點陣,。操作時長依賴于操作者。
性能優(yōu)異
從光學顯微鏡到SPM/AFM,,各模式下均可清晰地捕捉圖像
利用光學顯微鏡搜索目標區(qū)域,利用SPM可以方便地進行高分辨率觀察,。利用與表面形狀圖像相同的視場可以獲得其他物理特性信息,。
樣品:硅基底上的二氧化硅圖案

豐富多樣的掃描模式
從形貌觀察到基于力曲線測量的物性分析,支持廣泛的掃描模式,。這意味著可以兼顧高分辨率與物性測試,。
形貌 | 接觸模式、動態(tài)模式 |
---|---|
機械性能 | 相位模式,、側向力模式,、力調(diào)制模式、Nano 3D Mapping Fast * |
電磁學 | 電流模式* 、磁力模式* ,、表面電勢模式* ,、壓電力模式* 、STM * |
納米加工 | 矢量掃描模式* |
環(huán)境支持 | 液體環(huán)境* |
搜尋目標區(qū)域更容易
利用清晰地光學顯微鏡圖像,,可以輕松找到目標區(qū)域,,不用擔心振動的影響。
SPM-Nanoa集成了一體式高性能光學顯微鏡,。
樣品視野

使用集成光學顯微鏡,,樣品表面的3um間隔圖案清晰可見。
高分辨觀察表面物性
極軟樣品的變形或樣品局部的機械及電氣性能的差異,,都可以獲得高分辨率的觀測圖像,。
用表面電勢模式觀察云母基底上的金納米顆粒

該圖顯示了0.2um范圍內(nèi)的表面電勢(右)和形貌圖像(左)
8K成像助力大范圍高分辨掃描
最大可支持8K(81929192)掃描點陣,,大范圍區(qū)域的小細節(jié)也纖毫畢現(xiàn),。
觀察金屬蒸鍍膜

省時高效
支持功能功能模式高速觀察
通過高速觀察和物性高速成譜功能,顯著減少了觀測時間,。
探針更換工具和樣品更換機構有效縮短了掃描準備時間,。

高通量觀測
高速物性成譜

簡便順滑地樣品更換

便捷更換探針
高通量觀測
高速物性成譜
采用了可實現(xiàn)高速響應的HT掃描器并優(yōu)化了控制算法,,從而大幅縮短了觀察和物性成像的數(shù)據(jù)獲取時間
簡便順滑地樣品更換
高速物性成譜
一鍵式操作實現(xiàn)自動開啟,、關閉平臺,放置和取出樣品,。
由于固定了激光的照射位置,,所以在樣品更換后可立即進行觀察。
探針更換簡單且可靠 Cantilever Master(選購)
僅需將探針放置在指定的位置,,并使其沿著導軌滑動即可安裝,,即使操作人員不習慣使用鑷子,也能夠簡單準確地進行操作,。
