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350次島津公司的異物自動(dòng)分析系統(tǒng)（紅外顯微鏡）AIM-9000 采用將微小部分作為測(cè)定目標(biāo)的光學(xué)設(shè)計(jì)，可以在短時(shí)間內(nèi)獲得微米級(jí)異物的清晰光譜,。本文向您介紹使用本系統(tǒng)對(duì)光學(xué)元件表面附著的約10μm微小異物進(jìn)行測(cè)定的示例。
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