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導(dǎo)讀

近年來,，材料、環(huán)境,、能源,、信息產(chǎn)業(yè)及微電子等領(lǐng)域的迅猛發(fā)展促使表面科學(xué)成為最為活躍的研究科學(xué)之一，同時(shí)對于表面分析技術(shù)的需求也日益增長,。X射線光電子能譜（XPS）技術(shù)作為一種表面分析技術(shù),，在鑒定材料表面的化學(xué)性質(zhì)與組成方面具備獨(dú)特的優(yōu)勢，已經(jīng)廣泛應(yīng)用于基礎(chǔ)科研,、先進(jìn)材料研制,、高精尖技術(shù)等領(lǐng)域，促進(jìn)了材料學(xué)的研究與發(fā)展,。ESCApe軟件是島津XPS的儀器軟件,，兼具操作分析功能，功能強(qiáng)大,，界面美觀,。為了更方便的將數(shù)據(jù)導(dǎo)出到Excel，最新版本ESCApe Ver. 1.4 進(jìn)行了功能升級(jí),。今天,，我們以案例分享模式，介紹一個(gè)鍍錫板樣品的全譜與窄譜分析數(shù)據(jù)的導(dǎo)出過程,，我們一起來看看吧,！

— （文末附完整操作視頻哦~） —

XPS操作方法

導(dǎo)出帶標(biāo)注的全譜

1全譜Peak ID分析

將全譜拖入Data Processing模塊，下拉列表選擇ESCA Spectrum和Peak ID,，之后運(yùn)行,、保存；

2調(diào)節(jié)輸出的數(shù)據(jù)格式

全譜保留在Data Processing模塊,，下拉列表選擇ESCA Spectrum和Excel exporter,，在Data Organiser中雙擊打開全譜，調(diào)節(jié)輸出的格式：點(diǎn)擊Fitted Model,，顯示出元素標(biāo)注,；選擇Regions，顯示出元素含量,；（此處調(diào)節(jié)的格式即最終的保存數(shù)據(jù)格式,，如果不雙擊打開全譜,，直接運(yùn)行保存，則保存的是不帶元素標(biāo)注的全譜）,；

3導(dǎo)出數(shù)據(jù)到Excel

選擇保存位置,、輸入名稱，選擇全譜,，點(diǎn)擊運(yùn)行,，查看保存結(jié)果。

導(dǎo)出擬合后的窄譜

1窄譜擬合分析

將窄譜拖到Modelling模塊進(jìn)行擬合等數(shù)據(jù)分析,，具體操作可參考 XPS（X射線光電子能譜儀）｜數(shù)據(jù)處理（二）

2調(diào)節(jié)輸出的數(shù)據(jù)格式

將多個(gè)窄譜拖入Data Processing模塊,，下拉列表選擇ESCA Spectrum和Excel exporter，在Data Organiser中雙擊打開其中一個(gè)窄譜,，調(diào)節(jié)輸出的格式：點(diǎn)擊Fitted Model,，顯示出擬合數(shù)據(jù)；選擇Components,，顯示出價(jià)態(tài)含量,；（調(diào)節(jié)其中一個(gè)窄譜的數(shù)據(jù)格式，其他窄譜會(huì)默認(rèn)按照這個(gè)格式進(jìn)行導(dǎo)出,，如果不雙擊打開窄譜,，直接運(yùn)行保存，則保存的是不帶擬合數(shù)據(jù)的窄譜）,；

3導(dǎo)出數(shù)據(jù)到Excel

選擇保存位置,、輸入名稱，選擇全部窄譜,，點(diǎn)擊運(yùn)行,，查看保存結(jié)果。

撰稿人：王文昌

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