導(dǎo)讀

《科技日?qǐng)?bào)》曾報(bào)道的35項(xiàng)“卡脖子"技術(shù)清單中,，芯片作為中國(guó)的心病，位列于光刻機(jī)之后,，排名第二位,。自此，解決“卡脖子",，生產(chǎn)制造高性能芯片引發(fā)持續(xù)關(guān)注,。目前，網(wǎng)絡(luò)媒體有報(bào)道,，*的芯片量產(chǎn)精度為5納米,，我國(guó)只有12納米，尚存在一定的差距,。如今,，在芯片的生產(chǎn)工藝過(guò)程中，高等級(jí)潔凈度的無(wú)塵車(chē)間對(duì)芯片的生產(chǎn)至關(guān)重要,。細(xì)菌,、靜電、粉塵,、有害氣體等均會(huì)直接影響到芯片的質(zhì)量與壽命,，其中揮發(fā)性有機(jī)物（VOCs）就是重要的有害物之一。現(xiàn)在,，島津帶來(lái)VOCs檢測(cè)方案,，為您打造芯片生產(chǎn)的潔凈環(huán)境助力！

VOCs的定義

VOCs（volatile organic compounds）即揮發(fā)性有機(jī)物,，不同國(guó)家和組織給出的定義不同,，我國(guó)環(huán)保部2014年給出的定義：VOCs是指在標(biāo)準(zhǔn)狀況下，飽和蒸氣壓較高,、沸點(diǎn)較低,、分子量小、常溫常壓下易揮發(fā)的有機(jī)化合物，包括烷烴,、芳香烴,、氯代烴、醛類(lèi),、酮類(lèi)等,。

VOCs對(duì)芯片的危害

無(wú)塵車(chē)間是指將一定空間范圍內(nèi)的空氣微粒子、有害空氣,、細(xì)菌等污染物排除,，并將室內(nèi)溫度、潔凈度,、氣流分布和靜電等控制在某一范圍內(nèi)的房間,。好的無(wú)塵車(chē)間不僅能節(jié)省能源、降低運(yùn)行成本,、降低人力投入,，而且可以給生產(chǎn)提供安全可靠的保證。

芯片生產(chǎn)過(guò)程中對(duì)于生產(chǎn)環(huán)境的空氣潔凈度非常挑剔,，就算是一粒小小的粉塵,，粘在芯片上都可能造成短路，進(jìn)而直接影響成品率,。粉塵的危害尚且如此,，空氣中的VOCs就更不用說(shuō)了。因此對(duì)芯片生產(chǎn)車(chē)間（即無(wú)塵車(chē)間）內(nèi)VOCs 的檢測(cè)是非常有必要的,。

要?jiǎng)?chuàng)造高潔凈度的空氣環(huán)境,，得通過(guò)什么手段來(lái)實(shí)現(xiàn)空氣環(huán)境檢測(cè)呢?

無(wú)塵車(chē)間VOCs監(jiān)測(cè)方案

無(wú)塵車(chē)間VOCs檢測(cè)主要依據(jù)環(huán)境標(biāo)準(zhǔn)HJ759《環(huán)境空氣 揮發(fā)性有機(jī)物的測(cè)定 罐采樣/氣相色譜-質(zhì)譜法》，采用大氣濃縮儀+GCMS進(jìn)行測(cè)定,。首先將采樣罐放置到無(wú)塵車(chē)間的采樣點(diǎn),，待樣品采集完畢，將采樣罐連接到大氣濃縮儀自動(dòng)進(jìn)樣裝置上,，樣品中的VOCs經(jīng)大氣濃縮儀除H2O,、CO2、N2,、O2后富集進(jìn)入GCMS進(jìn)行測(cè)定,。

大氣濃縮儀+GCMS-QP2020 NX

島津GCMS-QP2020 NX 氣相色譜質(zhì)譜儀搭載高效雙渦輪分子泵，每秒抽速達(dá)400 L,，可以短時(shí)間實(shí)現(xiàn)高真空,，助力高效分析。同時(shí)GCMS-QP2020 NX 具有良好的兼容性,，可以和不同類(lèi)型的大氣濃縮儀（液氮制冷型,、電子制冷型,、吸附劑型、低溫與吸附劑混合型）進(jìn)行聯(lián)機(jī),，對(duì)無(wú)塵車(chē)間的VOCs進(jìn)行檢測(cè)。

當(dāng)取樣體積400 mL,，64種VOCs檢出限為0.007-0.171 µg/m³（檢出限按照3倍信噪比計(jì)算方式得到）,，滿(mǎn)足無(wú)塵車(chē)間VOCs檢測(cè)需求。

64種 VOCs標(biāo)準(zhǔn)氣體和3種內(nèi)標(biāo)氣體色譜圖

（10 nmol/mol）

64種VOCs組分檢出限

不同場(chǎng)所VOCs檢測(cè)方案

目前島津公司已經(jīng)開(kāi)發(fā)了多套環(huán)境空氣中VOCs檢測(cè)方法,，可以滿(mǎn)足不同場(chǎng)所（城市環(huán)境空氣,、企業(yè)廠界邊界等）VOCs離線或在線監(jiān)測(cè)的需求，詳見(jiàn)環(huán)境空氣中揮發(fā)性有機(jī)物檢測(cè)方案,。

結(jié)語(yǔ)

為了減少VOCs對(duì)芯片生產(chǎn)的影響,，芯片生產(chǎn)車(chē)間-無(wú)塵車(chē)間VOCs組分的檢測(cè)受到越來(lái)越多的關(guān)注，島津公司始終秉承“為了人類(lèi)和地球的健康"的經(jīng)營(yíng)理念,，開(kāi)發(fā)了空氣VOCs檢測(cè)方案,，致力從源頭上解決無(wú)塵車(chē)間內(nèi)VOCs檢測(cè)問(wèn)題，為芯片的生產(chǎn)環(huán)境保駕護(hù)航,。

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