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類號

CS310C

CS320C

閥類型

Normally Closed or Normally Open

No Valve

Normally Closed or Normally Open

No Valve

流量規(guī)格（N₂）

（0～1,2,3,5,10,20,30,50,100,200,300,500）  SCCM

（0～1,2,3,5,10,20,30）                  SLM

準確度

±1% S.P. （≥35% F.S.）

±0.35% F.S. （＜35% F.S.）

±0.80% S.P. （≥30% F.S.）

±0.24% F.S. （＜30% F.S.）

線性

±0.5% F.S.

重復精度

±0.2% F.S.

響應時間

≤ 0.8sec            （≤ 0.5sec  optional）

工作壓差范圍

（0.05～0.35）Mpa（≤10SLM）

（0.1～0.35）MPa （＞10SLM）

＜0.02 MPa

（0.05～0.35）Mpa（≤10SLM）

（0.1～0.35）MPa （＞10SLM）

＜0.02 MPa

溫度系數(shù)

Zero: ≤±0.02% F.S./℃,； Span: ≤±0.05% F.S./℃

耐壓

3MPa

漏率

1×10^-11 Pa·m³ / sec He

密封材料

Metal

工作環(huán)境溫度

（0～50）℃

輸入信號

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:（0～5）VDC

No

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:（0～5）VDC

No

輸出信號

Digital:RS485 Or DeviceNet

Analog:（0～5）VDC

零漂

＜0.6%F.S. per year without autozero

電源

±11～±16 VDC （雙極） 或 +11～+28 VDC （單極）

表面化學成分

Cr/Fe ratio >2.0; CrO thickness >20 Angstroms

表面粗糙度

Ra  5μinch

標準接頭形式

VCR1/4陽接頭；

1.125″C型密封接頭

1.125″W型密封接頭

1.5″B型密封接頭

1.5″C型密封接頭

1.5″W型密封接頭

電源接頭形式

D sub 9 pins male,，D sub 15 pins male,，DeviceNet male

重量

1 Kg

0.8Kg

1.2Kg