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*標(biāo)準(zhǔn)平面（A面）,，不鍍膜,。 工作直徑

D1=Φ146mm，不平度小于0.02μm（λ/30）

第二標(biāo)準(zhǔn)平面（B面）,，不鍍膜,。 工作直徑

D2=Φ140mm，不平度小于0.03μm（λ/20）

準(zhǔn)直系統(tǒng)

D1=Φ146mm

工作直徑

f=400mm

測(cè)微目鏡

焦距f=16.7mm,放大倍數(shù)β=15X,，視場(chǎng)角2w=40o,，成像物鏡：I、D=4.5,；П,、D=7；Ш,、D=10,，f=16，f=23,，f=37

干涉室尺寸

深260*寬300*190mm

光源規(guī)格

激光ZN18（He-Ne）

外形尺寸

長(zhǎng)*寬*高 350*400*720mm

重量

100公斤