IFM易福門壓力傳感器在外界因素的作用下,所有材料都會作出相應(yīng)的,、具有特征性的反應(yīng),。它們中的那些對外界作用zui敏感的材料,即那些具有功能特性的材料,,被用來制作傳感器的敏感元件,。
(1)按照其所用材料的類別分
金屬 聚合物 陶瓷 混合物
(2)按材料的物理性質(zhì)分 導(dǎo)體 絕緣體 半導(dǎo)體 磁性材料
(3)按材料的晶體結(jié)構(gòu)分
單晶 多晶 非晶材料
與采用新材料緊密相關(guān)的傳感器開發(fā)工作,可以歸納為下述三個方向:
(1)在已知的材料中探索新的現(xiàn)象,、效應(yīng)和反應(yīng),,然后使它們能在傳感器技術(shù)中得到實際使用,。
(2)探索新的材料,應(yīng)用那些已知的現(xiàn)象,、效應(yīng)和反應(yīng)來改進傳感器技術(shù),。
(3)在研究新型材料的基礎(chǔ)上探索新現(xiàn)象、新效應(yīng)和反應(yīng),,并在傳感器技術(shù)中加以具體實施,。
現(xiàn)代傳感器制造業(yè)的進展取決于用于傳感器技術(shù)的新材料和敏感元件的開發(fā)強度。傳感器開發(fā)的基本趨勢是和半導(dǎo)體以及介質(zhì)材料的應(yīng)用密切關(guān)聯(lián)的,。表1.2中給出了一些可用于傳感器技術(shù)的,、能夠轉(zhuǎn)換能量形式的材料。
按照其制造工藝,,可以將傳感器區(qū)分為:
集成傳感器薄膜傳感器厚膜傳感器陶瓷傳感器
集成傳感器是用標(biāo)準(zhǔn)的生產(chǎn)硅基半導(dǎo)體集成電路的工藝技術(shù)制造的,。通常還將用于初步處理被測信號的部分電路也集成在同一芯片上。
薄膜傳感器則是通過沉積在介質(zhì)襯底(基板)上的,,相應(yīng)敏感材料的薄膜形成的,。使用混合工藝時,同樣可將部分電路制造在此基板上,。
厚膜傳感器是利用相應(yīng)材料的漿料,,涂覆在陶瓷基片上制成的,基片通常是Al2O3制成的,,然后進行熱處理,,使厚膜成形。
陶瓷傳感器采用標(biāo)準(zhǔn)的陶瓷工藝或其某種變種工藝(溶膠-凝膠等)生產(chǎn),。
完成適當(dāng)?shù)念A(yù)備性操作之后,,已成形的元件在高溫中進行燒結(jié)。厚膜和陶瓷傳感器這二種工藝之間有許多共同特性,,在某些方面,,可以認為厚膜工藝是陶瓷工藝的一種變型。
每種工藝技術(shù)都有自己的優(yōu)點和不足,。由于研究,、開發(fā)和生產(chǎn)所需的資本投入較低,以及傳感器參數(shù)的高穩(wěn)定性等原因,,采用陶瓷和厚膜傳感器比較合理,。