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SPA-5800-半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)
  • SPA-5800-半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)

貨物所在地:浙江寧波市

更新時(shí)間:2024-12-26 16:44:23

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半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)通過對(duì)工藝氣體施加電場使電離化為等離子體,。等離子體的“活性"組分包括:離子,、電子、原子,、自由活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài)),、光子等,。

半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)


一,、等離子體介紹
1、產(chǎn)品原理
通過對(duì)工藝氣體施加電場使電離化為等離子體,。等離子體的“活性"組分包括:離子,、電子,、原子、自由活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素(亞穩(wěn)態(tài)),、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化,、還原,、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),,從而優(yōu)化材料表面性能,,實(shí)現(xiàn)清潔,、改性、刻蝕等目的。
2、行業(yè)應(yīng)用

二,、產(chǎn)品介紹

1、產(chǎn)品概述
半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner)是國內(nèi)的“數(shù)字化大氣等離子清洗機(jī)",,一款擁有強(qiáng)大的“CPU"的大等離子清洗機(jī)。采用穩(wěn)定性高的移相全橋軟開關(guān)電路,擁有數(shù)字通信及模擬通信兩種數(shù)據(jù)傳輸方式,通過ARM芯片強(qiáng)大的數(shù)據(jù)處理功能,實(shí)現(xiàn)設(shè)備數(shù)字化控制,客戶產(chǎn)線,,可達(dá)到中央控制系統(tǒng)統(tǒng)一監(jiān)控,,使清洗效果更穩(wěn)定、更持久,,抗干擾性能增強(qiáng),,減低故障率,,控制維護(hù)成本,提高產(chǎn)能,,有效減低生產(chǎn)成本,。

半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)

2、產(chǎn)品優(yōu)勢
(1)數(shù)字化控制,,顯示屏顯示,,實(shí)時(shí)監(jiān)控,抗干擾強(qiáng),;
(2)具有十余種故障報(bào)警功能,,故障排查定位時(shí)間縮短80%以上;
(3)支持RS-485/232數(shù)字通信接口和模擬通信接口,,強(qiáng)大的遠(yuǎn)程通信功能,;
(4)采用TI品牌的移相全橋軟開關(guān)電路和PFC功率因素校正,相對(duì)模擬硬開關(guān)電路效率可提高10%以上,,響應(yīng)時(shí)間小于0.1s,,抗干擾性強(qiáng);
(5)軍工級(jí)硬件設(shè)計(jì),,使用環(huán)境溫度范圍可達(dá)到-25℃-50℃,,適應(yīng)不同的嚴(yán)苛場景,,MTBF時(shí)間可達(dá)到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃),;
(6)搭載ST品牌的ARM芯片,人機(jī)交互簡單明了,,強(qiáng)大的遠(yuǎn)程調(diào)試通訊功能,,無縫對(duì)接任意的應(yīng)用場景,自主研發(fā)的軟件對(duì)實(shí)時(shí)采集的數(shù)據(jù)進(jìn)行智能判斷并協(xié)調(diào)工作,,可實(shí)現(xiàn)功率自匹配,,穩(wěn)定無變化;
(7)具有6種檢測功能:氣壓檢測,、主板溫度檢測、變壓器弧壓檢測,、變壓器初級(jí)峰值電流檢測,,電網(wǎng)電流檢測,噴槍轉(zhuǎn)速檢測,;
(8)等離子發(fā)生器同時(shí)支持射流噴槍,、旋轉(zhuǎn)噴槍及線性寬幅,一鍵設(shè)置,,隨時(shí)變換,;
(9)具有過溫防護(hù)、過載防護(hù),、短路,、斷路,、漏電防護(hù)、各種誤操作保護(hù)等防護(hù)功能,。

3,、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
結(jié)構(gòu):高壓數(shù)字電源發(fā)生器、等離子發(fā)生裝置噴槍與控制系統(tǒng)組成,。
(1)高壓數(shù)字電源發(fā)生器:
等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵(lì),,本產(chǎn)品采用中頻電源進(jìn)行激勵(lì),數(shù)字化控制方式,,可實(shí)現(xiàn)功率自匹配,,保證功率的穩(wěn)定輸出,且輸出精度高,,輸出功率不受氣壓波動(dòng),,市網(wǎng)電壓波動(dòng),噴槍電極老化等影響,。參數(shù)需根據(jù)樣品實(shí)際情況進(jìn)行調(diào)節(jié),,以便達(dá)到處理效果。
(2)等離子發(fā)生裝置噴槍:
半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)搭配高速旋轉(zhuǎn)噴槍:主要處理大面積,、形狀較復(fù)雜的材料,,處理面積范圍20-80mm,可與原有的生產(chǎn)流水線搭配,,實(shí)現(xiàn)全自動(dòng)在線生產(chǎn),,節(jié)約人力成本。
(3)控制系統(tǒng):
控制系統(tǒng)作用在于控制SPA-5800大氣等離子清洗機(jī)的運(yùn)行,,以及整體系統(tǒng)的保護(hù),。

半導(dǎo)體等離子清洗機(jī)


4,、產(chǎn)品規(guī)格

大氣等離子主機(jī)

設(shè)備尺寸

L580*W480*H149mm

重量

10KG

需求電源

電源:單相AC220V,50/60Hz,, 10A,,接地電阻小于4Ω

等離子發(fā)生器規(guī)格

電源功率

600-1000W可調(diào)(依據(jù)負(fù)載情況設(shè)定范圍)

電源頻率

50/60Hz

遠(yuǎn)程通信方式

支持485接口,232接口,,并有模擬通信接口

控制方式

數(shù)字控制,,可選本地控制與遠(yuǎn)程控制

等離子槍頭規(guī)格

處理寬度

20-90mm

槍頭尺寸

L308*W76*H149mm

重量

6.5KG

槍頭可調(diào)節(jié)高度

5-15mm

氣壓范圍

標(biāo)準(zhǔn)0.2MPA,0.08~0.25MPA可調(diào)

工藝氣體

使用氣體

CDA或者N2

檢測與報(bào)警

檢測

氣壓檢測,、主板溫度檢測,、變壓器弧壓檢測、變壓器初級(jí)峰值電流檢測,,電網(wǎng)電流檢測,,噴槍轉(zhuǎn)速檢測

報(bào)警

具備轉(zhuǎn)速、溫度,、電壓,、氣壓、過載,、漏電,、功率不匹配、短路,、開路,、過流等保護(hù)功能

設(shè)備尺寸圖紙

2.5.1槍頭尺寸圖

image.png


2.5.2電源尺寸圖

image.png

三、規(guī)格要求
3.1 廠務(wù)規(guī)格要求

廠務(wù)規(guī)格要求

需求電源

電源:單相AC220V,,50/60Hz,, 10A,接地電阻小于4Ω

廠務(wù)排氣

流 量 :5m3/min

材質(zhì):耐腐蝕材質(zhì)

廠務(wù)壓縮空氣要求

管徑:8mm

材質(zhì):PU 管

壓力:0.4-0.6MPa

氣源質(zhì)量應(yīng)該滿足:固體顆粒粒徑<=0.1um,含油量<=0.01mg/m3,,壓力露點(diǎn)-40°C以下



3.2 配置清單

配置清單

序號(hào)

名稱

型號(hào)和規(guī)格

數(shù)量

備注

1

主機(jī)發(fā)生器

SPA-5800

1

臺(tái)

2

常規(guī)槍頭

按客戶要求配備

1

臺(tái)

3

普通噴嘴

按客戶要求配備

1

PCS

4

金屬波紋管長

線長3.5M

1

5

送貨單

紙質(zhì)文檔

1

6

DB15接頭

線長20cm

1

7

產(chǎn)品說明書

紙質(zhì)文檔

1

8

產(chǎn)品合格證

紙質(zhì)文檔

1

9

產(chǎn)品保修卡

紙質(zhì)文檔

1

10

產(chǎn)品質(zhì)檢報(bào)告

紙質(zhì)文檔

1

損耗清單

序號(hào)

名稱

型號(hào)和規(guī)格

數(shù)量

壽命時(shí)間

1

噴嘴

/

1

2300H

2

電極

/

1

1800H

3

皮帶

/

1

4800H

4

碳刷

/

1

6000H

注:耗材的使用壽命時(shí)間與現(xiàn)場的使用條件有關(guān)系,,以下壽命時(shí)間僅供參考。


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