一,、等離子體介紹
1、產(chǎn)品原理
通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體,。等離子體的“活性"組分包括：離子,、電子、原子,、自由活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等,。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)進(jìn)行氧化,、還原,、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),，從而優(yōu)化材料表面性能,，實(shí)現(xiàn)清潔,、改性,、刻蝕等目的。
2,、行業(yè)應(yīng)用
二,、產(chǎn)品介紹
1、產(chǎn)品概述
SPV-100真空等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner),，氣體通過激勵電源離化成等離子態(tài),，等離子體作用于產(chǎn)品表面，清洗產(chǎn)品表面污染物,，提高表面活性,，增強(qiáng)附著性能。等離子清洗是一種新型的,、環(huán)保,、高效、穩(wěn)定的表面處理方式,。
2,、產(chǎn)品優(yōu)勢
（1）便捷的收放板方式。
（2）真空系統(tǒng)集成,，占地面積小,。
（3）低耗能、耗氣產(chǎn)品,。
（4）水平電極設(shè)計,，可滿足軟性產(chǎn)品處理需求。
（5）集成的控制系統(tǒng)設(shè)計,，使操作更方便,。
（6）合理的等離子反應(yīng)空間，使處理更均勻,。
（7）產(chǎn)品放置治具靈活多變,，可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品。
3,、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個部分：真空腔及真空系統(tǒng),，等離子體發(fā)生器，控制系統(tǒng),。
（A）真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)
真空腔固定于機(jī)柜框架內(nèi),，左右兩側(cè)為可拆門，因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的,。真空發(fā)生系統(tǒng)由波紋管,、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成,，核心部件真空泵（真空泵組）,。
（B）等離子體發(fā)生器
等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓，產(chǎn)生低溫等離子體,。利用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)形成高頻電壓加到電極板上,，當(dāng)真空腔內(nèi)達(dá)到一定真空度時，產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象,，放電后電路會自動調(diào)節(jié)電壓到適當(dāng)值,，保證電路正常穩(wěn)定放電。
（C）控制系統(tǒng)
本系統(tǒng)使用MCGS觸摸屏,、西門子PLC,、中文界面。設(shè)備的工藝流程控制：真空泵啟動->擋板閥開啟->達(dá)到設(shè)定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時間到破真空->工作完成,。設(shè)備分自動和手動兩種方式,。
4、產(chǎn)品規(guī)格
5,、設(shè)備尺寸圖紙
（1）主機(jī)尺寸圖紙
4