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一,、等離子體介紹

1.1產(chǎn)品原理

通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體。等離子體的“活性"組分包括：離子,、電子,、原子、自由活性基團,、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）,、光子等。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質進行氧化,、還原,、裂解、交聯(lián)和聚合等物理和化學反應改變樣品表面性質,，從而優(yōu)化材料表面性能,，實現(xiàn)清潔、改性,、刻蝕等目的,。

1.2行業(yè)應用

二、產(chǎn)品介紹

2.1產(chǎn)品概述

半導體等離子去膠機(Plasma cleaner)是國內(nèi)的“數(shù)字化大氣等離子清洗機",，一款擁有強大的“CPU"的大等離子清洗機,。采用穩(wěn)定性高的移相全橋軟開關電路，擁有數(shù)字通信及模擬通信兩種數(shù)據(jù)傳輸方式,，通過ARM芯片強大的數(shù)據(jù)處理功能,，實現(xiàn)設備數(shù)字化控制，客戶產(chǎn)線,，可達到中央控制系統(tǒng)統(tǒng)一監(jiān)控,，使清洗效果更穩(wěn)定、更持久,，抗干擾性能增強,，減低故障率，控制維護成本,，提高產(chǎn)能,，有效減低生產(chǎn)成本。

2.2產(chǎn)品優(yōu)勢

1,、軍工級硬件設計,，使用環(huán)境溫度范圍可達到-25℃-50℃，適應不同的嚴苛場景，MTBF時間可達到≥190Khrs MIL-HDBK-217F(25℃),；
2,、數(shù)字化控制，顯示屏顯示,，實時監(jiān)控,，抗干擾強；
3,、采用TI品牌的移相全橋軟開關電路和PFC功率因素校正,，相對模擬硬開關電路效率可提高10%以上，響應時間小于0.1s,，抗干擾性強,；
4、搭載ST品牌的ARM芯片,，人機交互簡單明了,，強大的遠程調試通訊功能，無縫對接任意的應用場景,，自主研發(fā)的軟件對實時采集的數(shù)據(jù)進行智能判斷并協(xié)調工作,，可實現(xiàn)功率自匹配，穩(wěn)定無變化,；
5,、支持RS-485/232數(shù)字通信接口和模擬通信接口，強大的遠程通信功能,；
6,、具有6種檢測功能：氣壓檢測、主板溫度檢測,、變壓器弧壓檢測,、變壓器初級峰值電流檢測，電網(wǎng)電流檢測,，噴槍轉速檢測,；
7、具有十余種故障報警功能,，故障排查定位時間縮短80%以上,；
8、等離子發(fā)生器同時支持射流噴槍,、旋轉噴槍及線性寬幅,，一鍵設置,，隨時變換,；
9、具有過溫防護、過載防護,、短路,、斷路、漏電防護,、各種誤操作保護等防護功能,。

2.3產(chǎn)品結構

結構：高壓數(shù)字電源發(fā)生器、等離子發(fā)生裝置噴槍與控制系統(tǒng)組成,。

（A）高壓數(shù)字電源發(fā)生器：

等離子體的產(chǎn)生需要高壓激勵,，本產(chǎn)品采用中頻電源進行激勵，數(shù)字化控制方式,，可實現(xiàn)功率自匹配,，保證功率的穩(wěn)定輸出，且輸出精度高,，輸出功率不受氣壓波動,，市網(wǎng)電壓波動，噴槍電極老化等影響,。參數(shù)需根據(jù)樣品實際情況進行調節(jié),，以便達到處理效果。

（B）等離子發(fā)生裝置噴槍：

半導體等離子去膠機搭配高速旋轉噴槍：主要處理大面積,、形狀較復雜的材料,，處理面積范圍20-80mm，可與原有的生產(chǎn)流水線搭配,，實現(xiàn)全自動在線生產(chǎn),，節(jié)約人力成本。

（C）控制系統(tǒng)：

　控制系統(tǒng)作用在于控制SPA-5800大氣等離子清洗機的運行,，以及整體系統(tǒng)的保護,。

2.4產(chǎn)品規(guī)格

2.5

2.5.2電源尺寸圖

三,、規(guī)格要求

3.1 廠務規(guī)格要求

3.2

　　注：耗材的使用壽命時間與現(xiàn)場的使用條件有關系,，以下壽命時間僅供參考,。