一,、等離子體介紹
1、產(chǎn)品原理
SPV-200真空等離子清洗機(jī)通過對工藝氣體施加電場使電離化為等離子體,。等離子體的“活性"組分包括：離子,、電子、原子,、自由活性基團(tuán),、激發(fā)態(tài)的核素（亞穩(wěn)態(tài)）、光子等,。等離子處理就是通過利用這些活性組分的性質(zhì)來氧化,、還原、裂解,、交聯(lián)和聚合等物理和化學(xué)反應(yīng)改變樣品表面性質(zhì),，從而優(yōu)化材料表面性能，實(shí)現(xiàn)清潔,、改性,、刻蝕等目的,。
2、行業(yè)應(yīng)用
二,、產(chǎn)品介紹
1,、產(chǎn)品概述
SPV-200真空等離子清洗機(jī)(Plasma cleaner)，氣體通過激勵(lì)電源離化成等離子態(tài),，等離子體作用于產(chǎn)品表面,，清洗產(chǎn)品表面污染物，提高表面活性,，增強(qiáng)附著性能,。等離子清洗是一種新型的、環(huán)保,、高效,、穩(wěn)定的表面處理方式。
2,、產(chǎn)品優(yōu)勢
（1）真空系統(tǒng)集成,，占地面積小。
（2）便捷的收放板方式,。
（3）低耗能,、耗氣產(chǎn)品。
（4）水平電極設(shè)計(jì),，可滿足軟性產(chǎn)品處理需求,。
（5）集成的控制系統(tǒng)設(shè)計(jì)，使操作更方便,。
（6）合理的等離子反應(yīng)空間,，使處理更均勻,。
（7）產(chǎn)品放置治具靈活多變,，可適應(yīng)不規(guī)則的產(chǎn)品。
3,、產(chǎn)品結(jié)構(gòu)
真空等離子體表面處理系統(tǒng)主要包括三個(gè)部分：等離子體發(fā)生器,、真空腔及真空系統(tǒng)、控制系統(tǒng),。
（1）等離子體發(fā)生器
等離子體發(fā)生器在20Pa-100Pa間給電極板施加電壓,，產(chǎn)生低溫等離子體。利用高頻轉(zhuǎn)換技術(shù)形成高頻電壓加到電極板上,，當(dāng)真空腔內(nèi)達(dá)到一定真空度時(shí),，產(chǎn)生等離子體放電現(xiàn)象，放電后電路會(huì)自動(dòng)調(diào)節(jié)電壓到適當(dāng)值,，保證電路正常穩(wěn)定放電,。
（2）真空腔及真空發(fā)生系統(tǒng)
真空腔固定于機(jī)柜框架內(nèi),，左右兩側(cè)為可拆門，因此內(nèi)部的真空腔及真空系統(tǒng)的維修是極方便的,。真空發(fā)生系統(tǒng)由波紋管,、KF接頭、真空泵以及油霧過濾器組成,，核心部件真空泵（真空泵組）
（3）控制系統(tǒng)
本系統(tǒng)使用MCGS觸摸屏,、西門子PLC、中文界面,。設(shè)備的工藝流程控制：真空泵啟動(dòng)->擋板閥開啟->達(dá)到設(shè)定的真空度->通入工藝氣體->RF放電->工作時(shí)間到破真空->工作完成,。設(shè)備分自動(dòng)和手動(dòng)兩種方式。
4,、產(chǎn)品規(guī)格
5,、設(shè)備尺寸圖紙
（1）主機(jī)圖紙
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