等離子去膠機(jī)(PlasmaDe-scummingMachine)是一種環(huán)保的半導(dǎo)體制程前減薄過程中清洗化學(xué)機(jī)械研磨殘膠的設(shè)備,，主要應(yīng)用于集成電路制造業(yè)、光電子工業(yè)及液晶顯示器行業(yè),。等離子去膠機(jī)以氣體放電為驅(qū)動力,，在實(shí)驗(yàn)室里常用非惰性氣體，如純氧,、氮和氦,。經(jīng)過電離處理而產(chǎn)生的活性物質(zhì)，可以將表面染料(Organiccontaminants)分解為無毒性分子,，去除表面膠片使得后續(xù)工序不會受到殘留雜質(zhì)污染,。
等離子態(tài)(PlasmaState)，是由電子與離子(或大分子)相互作用產(chǎn)生的一種氣體,。在等離子體狀態(tài)下,，氣體分子中的部分或者全部電子和分子離開了原有結(jié)構(gòu)，形成了大量的離子電子和自由基,。等離子體具有很高的反應(yīng)活性,，能夠把氣體分子轉(zhuǎn)化成帶正/負(fù)電荷的粒子，從而改變物質(zhì)性質(zhì),，改善表面性能,。
在一定壓強(qiáng)和電壓下，通過氣輝放電的方式產(chǎn)生等離子體,，并將其直接噴向被處理表面,，形成化學(xué)反應(yīng)區(qū)域。等離子體能夠解離化學(xué)鍵并且改變分子結(jié)構(gòu),，從而清洗掉表面的涂層粘性雜質(zhì)污染,，去除提示性化學(xué)機(jī)械研磨殘留殘膜，并且增加表面的活性,，提升表面潤濕性和附著力,。清洗后表面不會出現(xiàn)新的殘膠或者其他污染物,，這使得等離子去膠技術(shù)成為典型的原位清洗、處置技術(shù),。
上海沛沅儀器(小型等離子清洗機(jī)-國產(chǎn)等離子刻蝕機(jī)-等離子表面處理機(jī)廠家-上海沛沅儀器)等離子去膠機(jī)的優(yōu)勢：
1.可去除微米級別的污染.
2.可去除殘留污染表面,，在減少手工操作方面有明顯的時(shí)間和成本優(yōu)勢.
3.清洗過程不需要使用溶劑溶液，更加環(huán)保,，因此不會引起二次污染及消耗大量的資源.
4.可以對多種不同物質(zhì)進(jìn)行去膠,，具有廣泛適用性.
等離子去膠機(jī)在集成電路制造、光電子工業(yè)及液晶顯示器行業(yè)的特殊清潔要求下得到了廣泛的應(yīng)用,。在運(yùn)作過程中,，普遍存在電磁干擾現(xiàn)象，操作時(shí)需主意安全,，定期維護(hù)設(shè)備。為確保能夠穩(wěn)定的使用,，建議將其放置在防靜電環(huán)境下,，并按時(shí)檢測機(jī)器的電場功率密度變化情況等信息，從而提升機(jī)器設(shè)備的長期穩(wěn)定性和可靠性,。
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