隨著科技的進(jìn)步，等離子去膠機(jī)在現(xiàn)代工業(yè)上高速發(fā)展,，原因也很簡單,，選擇等離子去膠機(jī)是因?yàn)樗僮骱唵?、工作效率高、低成本,、環(huán)保且去膠后表面光潔,。下面是由金鉑利萊小編為大家介紹等離子去膠機(jī)在使用中四大影響要素，希望能幫到大家,。
一,、調(diào)整合適的頻率：
頻率越高，氧越易電離構(gòu)成等離子體,。頻率太高,，以致電子振幅比其平均自由程還短，則電子與氣體分子磕碰概率反而減少,，使電離率降低,。通常常用頻率為13.56MHz及2.45GHZ。
二,、調(diào)整合適功率：
關(guān)于必定量的氣體,，功率大，等離子體中的的活性粒子密度也大,，去膠速度也快；但當(dāng)功率增大到必定值,，反響所能耗費(fèi)的活性離子到達(dá)飽滿,，功率再大，去膠速度則無顯著添加,。由于功率大,，基片溫度高，所以應(yīng)根據(jù)技術(shù)需求調(diào)理功率,。
三,、調(diào)整適合的真空度：
恰當(dāng)?shù)恼婵斩龋墒闺娮舆\(yùn)動的平均自由程變大,，因而從電場取得的能量就大,，有利電離。別的當(dāng)氧氣流量必守時,，真空度越高,，則氧的相對份額就大，發(fā)生的活性粒子濃度也就大,。但若真空度過高,，活性粒子濃度反而會減小。
四,、氧氣流量的調(diào)整：
氧氣流量大,，活性粒子密度大,，去膠速率加速；但流量太大,，則離子的復(fù)合概率增大,，電子運(yùn)動的平均自由程縮短，電離強(qiáng)度反而降低,。若反響室壓力不變,，流量增大，則被抽出的氣體量也添加,，其間尚沒參與反響的活性粒子抽出量也隨之添加,，因而流量添加對去膠速率的影響也就不甚顯著。
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