1）清洗對象經(jīng)等離子處理后是干燥的，不需要再經(jīng)干燥處理即可送往下一道工序,；可以提高整個工藝流水線的處理效率,；
2）采用無線電波范圍的高頻產(chǎn)生的等離子體的特點是方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內(nèi)部完成常規(guī)清洗不能達到的清洗任務(wù),，能很好處理難清洗部位,。
3）等離子技術(shù)，不需要對清洗液的運輸,、存儲,、排放等處理措施，所以生產(chǎn)場地很容易保持清潔衛(wèi)生,，體現(xiàn)設(shè)備高度環(huán)保性
4）安全性能強,，等離子清洗技術(shù)避免使用三氯乙烷等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產(chǎn)生有害污染物,，因此這種清洗方法屬于環(huán)保的綠色清洗方法,，使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害,，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題
5）在真空等離子清洗技術(shù)還可以改善材料本身的表面性能。如提高表面的潤濕性能,、改善膜的黏著力等,，這在許多應(yīng)用中都是非常重要的。
6）真空等離子清洗技術(shù)不分處理對象,，它可以處理各種各樣的材質(zhì),，無論是金屬、半導(dǎo)體,、氧化物,，還是高分子材料（如聚丙烯、聚氯乙烯,、聚四氟乙烯,、聚酰亞胺、聚酯,、環(huán)氧樹脂等高聚物）都可以使用等離子體來處理,。因此特別適合于不耐熱以及不耐溶劑的材質(zhì)。而且還可以有選擇地對材料的整體,、局部或復(fù)雜結(jié)構(gòu)進行部分清洗,；
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