HYDAC賀德克傳感器的分類

賀德克根據(jù)傳感器敏感元件和轉(zhuǎn)換原件的不同,，加速度傳感器可以分為電容式,、壓電式、光纖式,、壓阻式等類型,。

1.HYDAC賀德克電容式加速度傳感器

HYDAC電容式加速度傳感器可以將振動(dòng)位移參量的變化轉(zhuǎn)變成為電容量的變化,，其基本敏感機(jī)理比較簡(jiǎn)單。如圖所示,，上下極板為固定電容極板具有公共電極，中間質(zhì)量塊為可動(dòng)電容極板,。當(dāng)有外界振動(dòng)時(shí)可動(dòng)極板跟隨振動(dòng)，從而改變電容,。上下電容同時(shí)改變，但是變化方向相反,，稱為差動(dòng)式,。其特點(diǎn)是動(dòng)態(tài)范圍較大，zui大位移和zui小位移之比可大,，如果采用差動(dòng)測(cè)量方法數(shù)值增大一倍，靈敏度高,、響應(yīng)時(shí)間短、穩(wěn)定性好,。因?yàn)榻Y(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單，影響穩(wěn)定性的因素少,、無內(nèi)部和外部的各種摩擦和接觸應(yīng)力誤差,，對(duì)溫度變化的固有敏感性低,。

電容式加速度傳感器結(jié)構(gòu)示意圖

采用HYDAC有關(guān)工藝制成的微加速度計(jì),，其敏感芯片的體積僅5mill見方，和成人的小指甲蓋大小差不多,，比采用精密機(jī)械加工成的加速度計(jì)小12個(gè)數(shù)量級(jí),。由于其質(zhì)量小,，因此能承受高沖擊，實(shí)驗(yàn)測(cè)試這種原理的微加速度計(jì)在不加電狀態(tài)下X、Y、Z三個(gè)方向至少可以承受數(shù)百乃至數(shù)千g以上的沖擊,。

2.HYDAC賀德克壓電加速度傳感器

壓電傳感器的工作原理是基于某些晶體材料的壓電效應(yīng),，它是一種無源式傳感器，直接將機(jī)械能轉(zhuǎn)變成電能。壓電效應(yīng)分為正向壓電效應(yīng)和逆向壓電效應(yīng),。正向壓電效應(yīng)是指當(dāng)晶體受到某固定方向外力作用時(shí),，相應(yīng)的在一定晶體表面產(chǎn)生電荷,，當(dāng)外力作用消失時(shí),，晶體表面的電荷也會(huì)隨著消失。當(dāng)外力作用方向改變時(shí),，電荷的極性也隨之改變,。晶體受力產(chǎn)生的電荷量與外力大小成正比。

逆向壓電效應(yīng)是指當(dāng)某晶體沿一定方向受到電場(chǎng)作用時(shí),，相應(yīng)的在一定晶軸方向產(chǎn)生機(jī)械形變或機(jī)械應(yīng)力,，當(dāng)外加電場(chǎng)撤去后機(jī)械形變或機(jī)械應(yīng)力也消失。如圖所示的是利用壓電效應(yīng)的壓電式加速度傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)圖：

HYDAC賀德克壓電加速度傳感器結(jié)構(gòu)示意圖

中心壓縮型壓電傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，工藝性好,，相同質(zhì)量情況下能得到較高的固有頻率,，成本較低，壓電元件一般由兩片組成,。在剪切型壓電傳感器中，平面剪切型結(jié)構(gòu)能承受相對(duì)較高的沖擊加速度，中心柱,、壓電元件和質(zhì)量塊均做成平板形,，左右壓電元件通過橫向螺栓固緊在中心立柱上,。與中心壓縮型相比,，剪切型結(jié)構(gòu)對(duì)非振動(dòng)因素具有較好的隔離性，具有更好的靜態(tài)特性,，更高的信噪比和寬的高低頻特性,。在剪切型結(jié)構(gòu)中，壓電片受剪切力,，高沖擊產(chǎn)生的剪切力較大,，這就需要有較大的橫向預(yù)緊力，這對(duì)壓電片和預(yù)緊螺桿螺母的強(qiáng)度要求很高,，其抗沖擊能力和頻響沒有中心壓縮型的好,。

3.HYDAC賀德克壓阻式加速度傳感器

壓阻式加速度傳感器主要由3個(gè)部分組成：1.帶質(zhì)量塊的懸臂梁彈性元件，可將所要測(cè)試的加速度轉(zhuǎn)換成機(jī)械變形量（如應(yīng)力,、應(yīng)變）,；2.力敏原件，常用的是硅微固態(tài)壓阻平膜芯片,，通過玻璃粉燒結(jié)工藝封裝在彈性元件的zui大應(yīng)力集中處,，當(dāng)有加速度作用時(shí),，彈性元件的zui大機(jī)械變形量就通過平膜芯片的壓阻效應(yīng)轉(zhuǎn)化為惠斯登電橋的電阻變化量,，并在一定的電源激勵(lì)下，實(shí)現(xiàn)對(duì)加速度的測(cè)量,；3.具有過載保護(hù)功能的機(jī)械結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì),。如下圖所示：

壓阻式加速度傳感器示意圖

實(shí)際常用的三軸加速度傳感器如下圖所示，4個(gè)相互垂直的單端固支硅懸臂梁支撐著中間的可動(dòng)質(zhì)量懸塊,用來檢測(cè)3個(gè)方向的加速度;底部的PYREX玻璃基底提供加速度傳感器的高過載限位保護(hù),。壓敏電阻分布在4個(gè)懸臂梁上,將各電阻連接可以分別構(gòu)成檢測(cè)3個(gè)垂直方向加速度的惠斯通電橋,。當(dāng)傳感器受到外界加速度a時(shí),質(zhì)量塊m會(huì)把加速度轉(zhuǎn)化為慣性力F=ma,使懸臂梁發(fā)生形變,產(chǎn)生應(yīng)力變化,導(dǎo)致壓敏電阻的阻值發(fā)生變化,zui后由惠斯通電橋輸出相應(yīng)電壓的變化。

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