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    伯恩斯坦電容式傳感器原裝*

    伯恩斯坦電容式傳感器是以各種類型的電容器作為傳感元件，將被測轉(zhuǎn)物理量或機(jī)械量換成為電容量變化的一種轉(zhuǎn)換裝置,，實(shí)際上就是一個(gè)具有可變參數(shù)的電容器,。伯恩斯坦電容式傳感器廣泛用于位移、角度,、振動(dòng),、速度、壓力,、成分分析,、介質(zhì)特性等方面的測量。常用的是平行板型電容器或圓筒型電容器,。
    根據(jù)傳感器的工作原理可把伯恩斯坦電容式傳感器分為變極距型,、變面積型和變介質(zhì)型三種類型。
根據(jù)傳感器的結(jié)構(gòu)可把伯恩斯坦電容式傳感器分為三種類型的結(jié)構(gòu)形式,。它們又可按位移的形式分為線位移和角位移兩種,，每一種又依據(jù)傳感器極板形狀分成平(圓形)板形和圓柱(圓筒)形，雖然還有球面形和鋸齒形等其他形狀,，但一般很少用,。其中差動(dòng)式一般優(yōu)于單組(單邊)式傳感器，它具有靈敏度高,、線性范圍寬,、穩(wěn)定性高等特點(diǎn)。
    伯恩斯坦電容式傳感器的優(yōu)點(diǎn)
    1)溫度穩(wěn)定性好
    伯恩斯坦電容式傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),，這有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,，又因本身發(fā)熱極小，影響穩(wěn)定性甚微,。而電阻傳感器有銅損,，易發(fā)熱產(chǎn)生零漂,。
    2)結(jié)構(gòu)簡單
    伯恩斯坦電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單，易于制造和保證高的精度,，可以做得非常小巧,，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測量；能工作在高溫,，強(qiáng)輻射及強(qiáng)磁場等惡劣的環(huán)境中,，可以承受很大的溫度變化，承受高壓力,，高沖擊,，過載等；能測量超高溫和低壓差,，也能對帶磁工作進(jìn)行測量,。
    3)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好
    伯恩斯坦電容式傳感器由于帶電極板間的靜電引力很小(約幾個(gè)10^(-5)N),，需要的作用能量極小,，又由于它的可動(dòng)部分可以做得很小很薄，即質(zhì)量很輕,，因此其固有頻率很高,，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫茲的頻率下工作,，特別適用于動(dòng)態(tài)測量,。又由于其介質(zhì)損耗小可以用較高頻率供電，因此系統(tǒng)工作頻率高,。它可用于測量高速變化的參數(shù),。
    4)可以非接觸測量且靈敏度高
    可非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心率、小型滾珠軸承的徑向間隙等,。當(dāng)采用非接觸測量時(shí),，伯恩斯坦電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工件表面粗糙度等對測量的影響,。伯恩斯坦電容式傳感器除了上述的優(yōu)點(diǎn)外,，還因其帶電極板間的靜電引力很小，所需輸入力和輸入能量極小,，因而可測極低的壓力,、力和很小的加速度、位移等,，可以做得很靈敏,，分辨力高，能感應(yīng)0.01μm甚至更小的位移,。由于其空氣等介質(zhì)損耗小,，采用差動(dòng)結(jié)構(gòu)并接成電橋式時(shí)產(chǎn)生的零殘極小,，因此允許電路進(jìn)行高倍率放大，使儀器具有很高的靈敏度,。

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