電容式IFM傳感器
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IFM電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點(diǎn)：
(1)高阻抗,、小功率,因而所需的輸入力很小,，輸人能量也很低。電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個(gè)10-5 N),，因此所需輸入能量極小,，所以特別適宜用來(lái)解決輸入能量低的 測(cè)量問(wèn)題，例如測(cè)量極低的壓力,、力和很小的加速度,、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙,，能 感受0.001μm甚至更小的位移,。

電容式IFM傳感器
(2)溫度穩(wěn)定性好。傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān),，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,， 又因本身發(fā)熱極小，對(duì)穩(wěn)定性影響甚微,。
(3)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，適應(yīng)性強(qiáng)，待測(cè)體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作,。電容式傳感 器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于制造,可做得非常小巧,，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測(cè)量;能工作在高低溫、強(qiáng)輻射及強(qiáng) 磁場(chǎng)等惡劣的環(huán)境中,，也能對(duì)帶有磁性的工件進(jìn)行測(cè)量,。
(4)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,。由于極板間的靜電引力很小，可動(dòng)部分做得很小很薄,，因此其固有頻率很 高,，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫的頻率下工作,，特別適合動(dòng)態(tài)測(cè)量,，如測(cè)量振動(dòng)、瞬時(shí)壓力等,。
(5)可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,，具有平均效應(yīng)。例如非接觸測(cè)量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心,、小型滾珠 軸承的徑向間隙等,。當(dāng)采用非接觸測(cè)量時(shí),電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工作表面粗糙 等對(duì)測(cè)量的影響,。
IFM電容式傳感器存在的不足之處如下：
(1)輸出阻抗高,，負(fù)載能力差。
(2)寄生電容影響大,。

IFM電容傳感器也屬于具有開(kāi)關(guān)量輸出的位置傳感器,，是一種接近式開(kāi)關(guān)。它的測(cè)量頭通常是構(gòu)成電容器的一個(gè)極板,，而另一個(gè)極板是待測(cè)物體的本身,。當(dāng)物體移向接近開(kāi)關(guān)時(shí)，物體和接近開(kāi)關(guān)的介電常數(shù)發(fā)生變化,，使得和測(cè)量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化,。由此，便可控制開(kāi)關(guān)的接通和關(guān)斷,。
IFM電容式傳感器詳細(xì)資料參數(shù)
介紹：用電測(cè)法測(cè)量非電學(xué)量時(shí),，首先必須將被測(cè)的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換為電學(xué)量而后輸入之。通常把非電學(xué)量變換成電學(xué)量的元件稱(chēng)為變換器,；根據(jù)不同非電學(xué)量的特點(diǎn)設(shè)計(jì)成的有關(guān)轉(zhuǎn)換裝置稱(chēng)為傳感器,，而被測(cè)的力學(xué)量（如位移、力,、速度等）轉(zhuǎn)換成電容變化的傳感器稱(chēng)為IFMIFM電容傳感器,。從能量轉(zhuǎn)換的角度而言，電容變換器為無(wú)源變換器,，需要將所測(cè)的力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進(jìn)行放大和處理,。力學(xué)量中的線位移、角位移、間隔,、距離,、厚度、拉伸,、壓縮,、膨脹、變形等無(wú)不與長(zhǎng)度有著密切的量,；這些量又都是通過(guò)長(zhǎng)度或者長(zhǎng)度比值進(jìn)行測(cè)量的量,，而其測(cè)量方法的相互關(guān)系也很密切。另外,，在有些條件下,，這些力學(xué)量變化相當(dāng)緩慢，而且變化范圍極小,，如果要求測(cè)量極小距離或位移時(shí)要有較高的分辨率,，其他傳感器很難做到實(shí)現(xiàn)高分辨率要求，在精密測(cè)量中所普遍使用的差動(dòng)變壓器傳感器的分辨率僅達(dá)到1～5 μm數(shù)量級(jí),；而有一種電容測(cè)微儀,，他的分辨率為0.01 μm，比前者提高了兩個(gè)數(shù)量級(jí),，zui大量程為100±5 μm，因此他在精密小位移測(cè)量中受到青睞,。