電容式IFM傳感器
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IFM電容式傳感器與電阻式,、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點：
(1)高阻抗、小功率,因而所需的輸入力很小,，輸人能量也很低,。電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個10-5 N)，因此所需輸入能量極小,，所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題,，例如測量極低的壓力、力和很小的加速度,、位移等,，可以做得很靈敏,分辨力非常髙，能 感受0.001μm甚至更小的位移,。

電容式IFM傳感器
(2)溫度穩(wěn)定性好,。傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān)，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料， 又因本身發(fā)熱極小,，對穩(wěn)定性影響甚微,。
(3)結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強,，待測體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作,。電容式傳感 器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,可做得非常小巧，以實現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高低溫,、強輻射及強 磁場等惡劣的環(huán)境中,，也能對帶有磁性的工件進行測量。
(4)動態(tài)響應(yīng)好,。由于極板間的靜電引力很小,，可動部分做得很小很薄，因此其固有頻率很 高,，動態(tài)響應(yīng)時間短,，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動態(tài)測量,，如測量振動,、瞬時壓力等。
(5)可以實現(xiàn)非接觸測量,，具有平均效應(yīng),。例如非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等,。當采用非接觸測量時,電容式傳感器具有平均效應(yīng),，可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響。
IFM電容式傳感器存在的不足之處如下：
(1)輸出阻抗高,，負載能力差,。
(2)寄生電容影響大。

IFM電容傳感器也屬于具有開關(guān)量輸出的位置傳感器,，是一種接近式開關(guān),。它的測量頭通常是構(gòu)成電容器的一個極板，而另一個極板是待測物體的本身,。當物體移向接近開關(guān)時,，物體和接近開關(guān)的介電常數(shù)發(fā)生變化，使得和測量頭相連的電路狀態(tài)也隨之發(fā)生變化,。由此,，便可控制開關(guān)的接通和關(guān)斷。
IFM電容式傳感器詳細資料參數(shù)
介紹：用電測法測量非電學(xué)量時,，首先必須將被測的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換為電學(xué)量而后輸入之,。通常把非電學(xué)量變換成電學(xué)量的元件稱為變換器,；根據(jù)不同非電學(xué)量的特點設(shè)計成的有關(guān)轉(zhuǎn)換裝置稱為傳感器,，而被測的力學(xué)量（如位移,、力、速度等）轉(zhuǎn)換成電容變化的傳感器稱為IFMIFM電容傳感器,。從能量轉(zhuǎn)換的角度而言,，電容變換器為無源變換器，需要將所測的力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進行放大和處理,。力學(xué)量中的線位移,、角位移、間隔,、距離,、厚度、拉伸,、壓縮,、膨脹、變形等無不與長度有著密切的量,；這些量又都是通過長度或者長度比值進行測量的量,，而其測量方法的相互關(guān)系也很密切。另外,，在有些條件下,，這些力學(xué)量變化相當緩慢，而且變化范圍極小,，如果要求測量極小距離或位移時要有較高的分辨率,，其他傳感器很難做到實現(xiàn)高分辨率要求，在精密測量中所普遍使用的差動變壓器傳感器的分辨率僅達到1～5 μm數(shù)量級,；而有一種電容測微儀,，他的分辨率為0.01 μm，比前者提高了兩個數(shù)量級,，zui大量程為100±5 μm,，因此他在精密小位移測量中受到青睞。