P+F電容式傳感器*,，倍加福電容式傳感器由上下電極、絕緣體和襯底構(gòu)成,。當(dāng)薄膜受壓力作用時(shí),，薄膜會發(fā)生一定的變形，因此,，上下電極之間的距離發(fā)生一定的變化,，從而使電容發(fā)生變化。但P+F電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關(guān)系是非線性關(guān)系,，因此,，要用具有補(bǔ)償功能的測量電路對輸出電容進(jìn)行非線性補(bǔ)償。
P+F電容式傳感器與電阻式,、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點(diǎn)：
(1)高阻抗,、小功率,因而所需的輸入力很小,，輸人能量也很低。P+F電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個(gè)10-5 N),，因此所需輸入能量極小,，所以特別適宜用來解決輸入能量低的 測量問題，例如測量極低的壓力,、力和很小的加速度,、位移等,，可以做得很靈敏,分辨力非常髙,，能 感受0.001μm甚至更小的位移。
(2)溫度穩(wěn)定性好,。傳感器的電容值一般與電極材料無關(guān),，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料， 又因本身發(fā)熱極小,，對穩(wěn)定性影響甚微,。
(3)結(jié)構(gòu)簡單，適應(yīng)性強(qiáng),，待測體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作,。倍加福電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡單,易于制造,可做得非常小巧，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測量;能工作在高低溫,、強(qiáng)輻射及強(qiáng) 磁場等惡劣的環(huán)境中,，也能對帶有磁性的工件進(jìn)行測量。
(4)動態(tài)響應(yīng)好,。由于極板間的靜電引力很小,，可動部分做得很小很薄，因此其固有頻率很 高,，動態(tài)響應(yīng)時(shí)間短,，能在幾兆赫的頻率下工作，特別適合動態(tài)測量,，如測量振動,、瞬時(shí)壓力等。
(5)可以實(shí)現(xiàn)非接觸測量,，具有平均效應(yīng),。例如非接觸測量回轉(zhuǎn)軸的振動或偏心、小型滾珠 軸承的徑向間隙等,。當(dāng)采用非接觸測量時(shí),P+F電容式傳感器具有平均效應(yīng),，可以減小工作表面粗糙 等對測量的影響。
兩點(diǎn)注意：
工作頻率等于或接近諧振頻率時(shí),，諧振頻率破壞了電容的正常作用,。因此,，工作頻率應(yīng)該先擇低于諧振頻率。
P+F電容式傳感器的有效電容除與位移有關(guān)外,，還與角頻率有關(guān),。因此，在實(shí)際應(yīng)用時(shí)必須與標(biāo)定的條件（ω）相同,。
P+F電容式傳感器*常見的型號：
RHI58N-0BAR1R61N-1000
RVI50N-09BK0A3TN-01000
RVI58N-011K1R61N-5000
RVI50N-09BK0A3TN-1000
PVM58N-011AGROBN-1213
PVM58N-011AGROBN-1213
RVI78N-10CK2A31N-0100
FHS58N-0BAK2RR4GN-0013
RVI58N-011AAR6XN-01024
RHI58N-OBAK1R61N-1024
HI58N-OBAK1R6XN-1024
RVI58N-032K1R31N-00600
RVI58N-032K1R31N-00500
RHI90N-OHAAAR61N-1024
PVS58N-011AGROBN-0013
AVM58N-011K1RHCN-1212