70年代末以來(lái),，隨著集成電路技術(shù)的發(fā)展,出現(xiàn)了與微型測(cè)量?jī)x表封裝在一起的易福門(mén)電容式傳感器,。這種新型的傳感器能使分布電容的影響大為減小，使其固有的缺點(diǎn)得到克服,。電容式傳感器是一種用途極廣,，很有發(fā)展?jié)摿Φ膫鞲衅鳌?br>典型的易福門(mén)電容式傳感器由上下電極、絕緣體和襯底構(gòu)成。當(dāng)薄膜受壓力作用時(shí)，薄膜會(huì)發(fā)生一定的變形,，因此,，上下電極之間的距離發(fā)生一定的變化，從而使電容發(fā)生變化,。但易福門(mén)電容式壓力傳感器的電容與上下電極之間的距離的關(guān)系是非線性關(guān)系,，因此,，要用具有補(bǔ)償功能的測(cè)量電路對(duì)輸出電容進(jìn)行非線性補(bǔ)償,。
IFM電容式傳感器廠家特賣(mài)常見(jiàn)的型號(hào)：
KI5071 KIE2015-FRKG/NI
KI5081 KI-3015-ANKG/NI/6M
KI5082 KI-3200NFAKGP2T/US
KI5083 KI-3200NFPKGP2T/US
KI5084 KIA3080BFAKG/2T/US
KI5085 KIA3080BFPKG/2T/US
KI5052 KIE3015-FPKG/NI/55V/US-100-DPX
KI5057 KI-2015-ARKG/NI/0,5M/PH/ST
KI505A KIE4150NCPKG/3D
KI5060 KI-2015-FRKG/NI/PH
KI5065 KIE3015-FPKG/NI/3D IFM電容式傳感器廠家特賣(mài)
特點(diǎn)優(yōu)勢(shì)
IFM電容式傳感器與電阻式、電感式等傳感器相比有如下一些優(yōu)點(diǎn)：
(1)高阻抗,、小功率,因而所需的輸入力很小,，輸人能量也很低。易福門(mén)電容式傳感器因帶電極板 間靜電引力極小(約幾個(gè)10-5 N),，因此所需輸入能量極小,，所以特別適宜用來(lái)解決輸入能量低的 測(cè)量問(wèn)題，例如測(cè)量極低的壓力,、力和很小的加速度,、位移等，可以做得很靈敏,分辨力非常髙,，能 感受0.001μm甚至更小的位移,。
(2)溫度穩(wěn)定性好。IFM傳感器的電容值一般與電極材料無(wú)關(guān),，有利于選擇溫度系數(shù)低的材料,， 又因本身發(fā)熱極小，對(duì)穩(wěn)定性影響甚微,。
(3)結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,，適應(yīng)性強(qiáng),，待測(cè)體是導(dǎo)體或半導(dǎo)體均可,可在惡劣環(huán)境中工作。IFM電容式傳感器結(jié)構(gòu)簡(jiǎn)單,易于制造,可做得非常小巧,，以實(shí)現(xiàn)某些特殊的測(cè)量;能工作在高低溫,、強(qiáng)輻射及強(qiáng) 磁場(chǎng)等惡劣的環(huán)境中，也能對(duì)帶有磁性的工件進(jìn)行測(cè)量,。
(4)動(dòng)態(tài)響應(yīng)好,。由于極板間的靜電引力很小，可動(dòng)部分做得很小很薄,，因此其固有頻率很 高,，動(dòng)態(tài)響應(yīng)時(shí)間短，能在幾兆赫的頻率下工作,，特別適合動(dòng)態(tài)測(cè)量,，如測(cè)量振動(dòng)、瞬時(shí)壓力等,。
(5)可以實(shí)現(xiàn)非接觸測(cè)量,，具有平均效應(yīng)。例如非接觸測(cè)量回轉(zhuǎn)軸的振動(dòng)或偏心,、小型滾珠 軸承的徑向間隙等,。當(dāng)采用非接觸測(cè)量時(shí),IFM電容式傳感器具有平均效應(yīng)，可以減小工作表面粗糙 等對(duì)測(cè)量的影響,。