德國IFM壓力傳感器工作原理
壓力傳感器是工業(yè)實(shí)踐中zui為常用的一種傳感器,。一般普通壓力傳感器的輸出為模擬信號，模擬信號是指信息參數(shù)在給定范圍內(nèi)表現(xiàn)為連續(xù)的信號,。 或在一段連續(xù)的時(shí)間間隔內(nèi),，其代表信息的特征量可以在任意瞬間呈現(xiàn)為任意數(shù)值的信號。而我們通常使用的壓力傳感器主要是利用壓電效應(yīng)制造而成的,，這樣的傳感器也稱為壓電傳感器,。
德國IFM壓力傳感器是使用的一種傳感器。傳統(tǒng)的壓力傳感器以機(jī)械結(jié)構(gòu)型的器件為主,，以彈性元件的形變指示壓力,，但這種結(jié)構(gòu)尺寸大、質(zhì)量重，不能提供電學(xué)輸出,。隨著半導(dǎo)體技術(shù)的發(fā)展,，半導(dǎo)體壓力傳感器也應(yīng)運(yùn)而生。其特點(diǎn)是體積小,、質(zhì)量輕,、準(zhǔn)確度高、溫度特性好,。特別是隨著MEMS技術(shù)的發(fā)展,，半導(dǎo)體傳感器向著微型化發(fā)展，而且其功耗小,、可靠性高,。
靜電容量型
靜電容量型壓力傳感器，是將玻璃的固定極和硅的可動極相對而形成電容,，將通過外力(壓力)使可動極變形所產(chǎn)生的靜電容量的變化轉(zhuǎn)換成電氣信號,。 (E8Y的動作原理便是靜電容量方式，其他機(jī)種采用半導(dǎo)體方式),。
半導(dǎo)體壓電阻型
半導(dǎo)體壓電阻抗擴(kuò)散壓力傳感器是在薄片表面形成半導(dǎo)體變形壓力,，通過外力(壓力)使薄片變形而產(chǎn)生壓電阻抗效果，從而使阻抗的變化轉(zhuǎn)換成電信號,。
德國IFM壓力傳感器四個無法避免的誤差編輯在選擇壓力傳感器的時(shí)候我們要考慮他的綜合精度,，而壓力傳感器的精度受哪些方面的影響呢?其實(shí)造成傳感器誤差的因素有很多，下面我們注意說四個無法避免的誤差,，這是傳感器的初始誤差,。
首先的偏移量誤差：由于壓力傳感器在整個壓力范圍內(nèi)垂直偏移保持恒定，因此變換器擴(kuò)散和激光調(diào)節(jié)修正的變化將產(chǎn)生偏移量誤差,。
其次是靈敏度誤差：產(chǎn)生誤差大小與壓力成正比,。如果設(shè)備的靈敏度高于典型值，靈敏度誤差將是壓力的遞增函數(shù),。如果靈敏度低于典型值,，那么靈敏度誤差將是壓力的遞減函數(shù)。該誤差的產(chǎn)生原因在于擴(kuò)散過程的變化,。德國IFM壓力傳感器工作原理
第三是線性誤差：這是一個對壓力傳感器初始誤差影響較小的因素,，該誤差的產(chǎn)生原因在于硅片的物理非線性，但對于帶放大器的傳感器,，還應(yīng)包括放大器的非線性,。線性誤差曲線可以是凹形曲線，也可以是凸形曲線稱重傳感器,。
zui后是滯后誤差：在大多數(shù)情形中,，壓力傳感器的滯后誤差*可以忽略不計(jì),，因?yàn)楣杵哂泻芨叩臋C(jī)械剛度。一般只需在壓力變化很大的情形中考慮滯后誤差,。
德國IFM壓力傳感器的這個四個誤差是無法避免的,，我們只能選擇高精度的生產(chǎn)設(shè)備，利用高新技術(shù)來降低這些誤差,，還可以在出廠的時(shí)候進(jìn)行一點(diǎn)的誤差校準(zhǔn),，盡zui大的可能來降低誤差以滿足客戶的需要。
德國IFM壓力傳感器工作原理  
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