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當(dāng)前位置：東莞市廣聯(lián)自動(dòng)化科技有限公司>>技術(shù)文章>>leybold萊寶殘余氣體分析儀的工作原理介紹
首先LEYSPEC 殘余氣體分析儀 (RGA) 產(chǎn)品系列可實(shí)現(xiàn)簡單直觀的操作。
按下按鈕,，即可顯示關(guān)鍵氣體的分壓,，如果您的工藝涉及額外的氣體，還可以將其分配到備用顯示通道進(jìn)行顯示,。
LEYSPEC 可達(dá)到較高的加熱除氣溫度,，因此非常適合在要求苛刻的高真空和超高真空應(yīng)用中使用。
測量元件是一個(gè)熱陰極電離真空計(jì),。電子從熱絲中發(fā)射出來,，并通過電偏壓裝置加速射向源位置?？焖僖苿?dòng)的電子與氣體分子發(fā)生碰撞,，撞出電子，從而對氣體進(jìn)行電離,。正氣體離子向帶負(fù)電的離子收集器提供電流,。離子電流與壓力成比例。離子越多,，離子電流越高,。四極陣列由四個(gè)不銹鋼電極組成。直流和高頻電壓施加到所有電極后,，會形成一個(gè)復(fù)雜的磁場,。通過改變電壓，可以控制該磁場,。
產(chǎn)生的振動(dòng)只允許特定質(zhì)量的離子“飛過"并到達(dá)檢測部分：
具有適當(dāng)質(zhì)荷比 (m/e) 的離子將以穩(wěn)定的三維軌跡振蕩通過電極,。
質(zhì)荷比不正確的離子將不受控制地發(fā)生振蕩，并與電極發(fā)生碰撞
離子到達(dá)離子收集器并產(chǎn)生輸出電流,，該電流用于度量通過濾波器的離子相對豐度,。離子電流或分壓與質(zhì)荷比的關(guān)系隨后顯示在裝置上或軟件中,。
根據(jù)所述工作原理，LEYSPEC RGA 通過查找和顯示氣體成分來驗(yàn)證氣體純度,。這使 LEYSPEC 能夠識別氣體污染物,，并執(zhí)行進(jìn)一步的工藝和設(shè)備控制，從而全面優(yōu)化工藝性能和產(chǎn)量,。
一體化儀器,，操作簡單直觀
LEYSPEC 殘余氣體分析儀具有高靈敏度，可檢測痕量的污染物或工藝氣體,。該產(chǎn)品系列具有針對 100,、200 和 300 amu 的解決方案。在惡劣環(huán)境中操作時(shí),，可實(shí)現(xiàn)高達(dá) 300 °C 的加熱除氣溫度,。
LEYSPEC 自帶軟件并集成了控制和顯示裝置，可通過它們直觀地實(shí)現(xiàn)操作,。無需連接到計(jì)算機(jī)即可進(jìn)行簡單的殘余氣體分析,。只需按一下按鈕即可顯示關(guān)鍵氣體，還有一個(gè)備用顯示界面,，用于顯示額外的氣體,。
它們也適用于高真空系統(tǒng)中要求嚴(yán)格的測試程序和殘余氣體分析。
憑借 LEYSPEC 的預(yù)安裝功能,，如氦氣泄漏測試,、可選氣體的警告和錯(cuò)誤級別，以及啟動(dòng)后脫氣功能或通氣功能,，此殘余氣體分析儀對于任何系統(tǒng)來說都是一個(gè)有益補(bǔ)充,。
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