英?？礗NFICON真空計分類原理介紹

       真空計（Vacuum Gauge），又名真空表,，是測量真空度或氣壓的儀器,。一般是利用不同氣壓下氣體的某種物理效應(yīng)的變化進(jìn)行氣壓的測量。在科研和工業(yè)生產(chǎn)中廣泛使用,。

英福康INFICON真空計分類原理介紹

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機(jī)制，可將主要的真空計分為三大類,，分別是利用力學(xué)性能,、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。

利用力學(xué)性能的真空計典型的有波爾登規(guī)（Bourdon）和薄膜電容規(guī),；利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼（Pirani）電阻規(guī)和熱電偶規(guī),；利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)。

波爾登規(guī)

如圖1所示,，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象,，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上,，即可讀出相應(yīng)的氣壓值,。

這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。

薄膜電容規(guī)

如圖2所示,，在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形,，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量,，即可知道金屬膜片上氣壓的變化,。

這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa,、0.1Pa至1000Pa等,。

這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用,，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響,，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時。

皮拉尼電阻規(guī)

也叫做熱電阻真空計,，它是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的,。

如圖3所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同,，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時,，由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同,，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同,，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。

如果配合電橋測量熱絲電阻的變化,，將有效提高測量的準(zhǔn)確度,。

這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同,，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。

熱電偶規(guī)

如圖4所示，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理一致，只是它不用測量熱絲電阻的變化,，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化,。

測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。

與皮拉尼電阻規(guī)一樣,，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定,。

熱陰極電離規(guī)

如圖5所示，熱陰極電離規(guī)中,，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子,，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子,，由收集極收集產(chǎn)生的離子,，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度,，進(jìn)而得到氣壓大小,。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

經(jīng)改進(jìn)后的熱陰極電離規(guī),，Bayard-Alpert規(guī),，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同,，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進(jìn)行標(biāo)定,。

冷陰極電離規(guī)

如圖6所示，冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進(jìn)行氣壓測量,，但與熱陰極電離規(guī)不同的是,，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa,。

與熱陰極電離規(guī)同樣的原因,，這種規(guī)在使用時需要在不同氣體下標(biāo)定。