德國(guó)Leuze勞易測(cè)電容傳感器的工作原理描述
先帶大家了解下Leuze勞易測(cè)電容傳感器,,Leuze勞易測(cè)電容傳感器是指將被測(cè)量(如尺寸,、壓力等)的變化轉(zhuǎn)換成電容量變化的一種傳感器。實(shí)際上,,它本身(或和被測(cè)物體)就是一個(gè)可變電容器。
接下為大家詳細(xì)述德國(guó)Leuze勞易測(cè)電容傳感器的工作原理
用電測(cè)法測(cè)量非電學(xué)量時(shí),,首先必須將被測(cè)的非電學(xué)量轉(zhuǎn)換為電學(xué)量而后輸入之,。通常把非電學(xué)量變換成電學(xué)量的元件稱(chēng)為變換器;根據(jù)不同非電學(xué)量的特點(diǎn)設(shè)計(jì)成的有關(guān)轉(zhuǎn)換裝置稱(chēng)為傳感器,,而被測(cè)的力學(xué)量(如位移,、力、速度等)轉(zhuǎn)換成電容變化的傳感器稱(chēng)為電容傳感器,。
從能量轉(zhuǎn)換的角度而言,,電容變換器為無(wú)源變換器,需要將所測(cè)的力學(xué)量轉(zhuǎn)換成電壓或電流后進(jìn)行放大和處理,。力學(xué)量中的線位移,、角位移、間隔,、距離,、厚度、拉伸,、壓縮,、膨脹、變形等無(wú)不與長(zhǎng)度有著密切聯(lián)系的量,;這些量又都是通過(guò)長(zhǎng)度或者長(zhǎng)度比值進(jìn)行測(cè)量的量,,而其測(cè)量方法的相互關(guān)系也很密切。另外,,在有些條件下,,這些力學(xué)量變化相當(dāng)緩慢,而且變化范圍極小,,如果要求測(cè)量極小距離或位移時(shí)要有較高的分辨率,,其他傳感器很難做到實(shí)現(xiàn)高分辨率要求,在精密測(cè)量中所普遍使用的差動(dòng)變壓器傳感器的分辨率僅達(dá)到1~5 μm數(shù)量級(jí),;而有一種電容測(cè)微儀,,他的分辨率為0.01 μm,比前者提高了兩個(gè)數(shù)量級(jí),,最大量程為100±5 μm,,因此他在精密小位移測(cè)量中受到青睞,。
由物理學(xué)知識(shí)可知,在忽略邊緣效應(yīng)的情況下,,平板電容器的電容量為
式中,,——真空的介電常數(shù),=,;
ε——極板間介質(zhì)的相對(duì)介電系數(shù),,在空氣中,ε=1,;
A——極板的重合面積,,m²;
δ——兩平行極板間的距離,,m,。
德國(guó)Leuze勞易測(cè)電容傳感器的工作原理描述
上式表明,當(dāng)被測(cè)量δ,,A或ε發(fā)生變化時(shí),,都會(huì)引起電容的變化。如果保持其中的兩個(gè)參數(shù)不變,,僅改變另一個(gè)參數(shù),,就可以把該參數(shù)的變化變換為單一電容量的變化,再通過(guò)配套的測(cè)量電路,,將電容的變化轉(zhuǎn)換為電信號(hào)輸出,。根據(jù)電容器參數(shù)變化的特性,電容式傳感器可分為極距變化型,、面積變化型和介質(zhì)變化型三種,,其中極距變化型和面積變化型的應(yīng)用較廣泛。
對(duì)于上述這些力學(xué)量,,尤其是緩慢變化或微小量的測(cè)量,,一般來(lái)說(shuō)采用電容式傳感器進(jìn)行檢測(cè)比較適宜,主要是這類(lèi)傳感器具有以下突出優(yōu)點(diǎn):
(1)測(cè)量范圍大其相對(duì)變化率可超過(guò)*,;
(2)靈敏度高如用比率變壓器電橋測(cè)量,,相對(duì)變化量可達(dá)10-7數(shù)量級(jí);
(3)動(dòng)態(tài)響應(yīng)快因其可動(dòng)質(zhì)量小,,固有頻率高,,高頻特性既適宜動(dòng)態(tài)測(cè)量,也可靜態(tài)測(cè)量,;
(4)穩(wěn)定性好由于電容器極板多為金屬材料,,極板間襯物多為無(wú)機(jī)材料,如空氣,、玻璃,、陶瓷,、石英等;因此可以在高溫,、低溫強(qiáng)磁場(chǎng),、強(qiáng)輻射下長(zhǎng)期工作,尤其是解決高溫高壓環(huán)境下的檢測(cè)難題,。