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郭（同）

RTS-4四探針測(cè)試儀是運(yùn)用四探針測(cè)量原理的多用途綜合測(cè)量設(shè)備,。該儀器按照單晶硅物理測(cè)試方法國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)并參考美國(guó) A.S.T.M 標(biāo)準(zhǔn)而設(shè)計(jì)的,，于測(cè)試半導(dǎo)體材料電阻率及方塊電阻(薄層電阻)的儀器。
 儀器由主機(jī),、測(cè)試臺(tái),、四探針探頭,、計(jì)算機(jī)等部分組成,，測(cè)量數(shù)據(jù)既可由主機(jī)直接顯示，亦可由計(jì)算機(jī)控制測(cè)試采集測(cè)試數(shù)據(jù)到計(jì)算機(jī)中加以分析,，然后以表格,，圖形方式統(tǒng)計(jì)分析顯示測(cè)試結(jié)果,。
儀器采用了電子技術(shù)進(jìn)行設(shè)計(jì),、裝配。具有功能選擇直觀,、測(cè)量取數(shù)快,、精度高、測(cè)量范圍寬,、穩(wěn)定性好,、結(jié)構(gòu)緊湊、易操作等特點(diǎn),。
本儀器適用于半導(dǎo)體材料廠,、半導(dǎo)體器件廠、科研單位,、高等院校對(duì)半導(dǎo)體材料的電阻性能測(cè)試,。

RTS-4四探針測(cè)試儀軟件測(cè)試系統(tǒng)是一個(gè)運(yùn)行在計(jì)算機(jī)上擁有友好測(cè)試界面的用戶程序，通過(guò)此測(cè)試程序輔助使用戶簡(jiǎn)便地進(jìn)行各項(xiàng)測(cè)試及獲得測(cè)試數(shù)據(jù)并對(duì)測(cè)試數(shù)據(jù)進(jìn)行統(tǒng)計(jì)分析,。
    測(cè)試程序控制四探針測(cè)試儀進(jìn)行測(cè)量并采集測(cè)試數(shù)據(jù),，把采集到的數(shù)據(jù)在計(jì)算機(jī)中加以分析，然后把測(cè)試數(shù)據(jù)以表格,，圖形直觀地記錄,、顯示出來(lái)。用戶可對(duì)采集到的數(shù)據(jù)在電腦中保存或者打印以備日后參考和查看,，還可以把采集到的數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，讓用戶對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析

RTS-4四探針測(cè)試儀技術(shù)指標(biāo)

測(cè)量范圍                      

電阻率：0.0001～2000Ω.cm(可擴(kuò)展)；  
方塊電阻：0.001～20000Ω/□(可擴(kuò)展),；
電導(dǎo)率：0.0005～10000 s/cm,；
電阻：0.0001～2000Ω；

可測(cè)晶片直徑      

 140mmX150mm(配S-2A型測(cè)試臺(tái)),；
 200mmX200mm(配S-2B型測(cè)試臺(tái)),；
 400mmX500mm(配S-2C型測(cè)試臺(tái))；

恒流源：電流量程分為0.1mA,、1mA,、10mA、100mA四檔,，各檔電流連續(xù)可調(diào)

數(shù)字電壓表：量程及表示形式：000.00～199.99mV,；　　　　
 分辨力：10μV；
 輸入阻抗：>1000MΩ,；
精度：±0.1% ,；
顯示：四位半紅色發(fā)光管數(shù)字顯示；極性,、超量程自動(dòng)顯示,；

四探針探頭基本指標(biāo)    間距：1±0.01mm,；
針間絕緣電阻：≥1000MΩ；
機(jī)械游移率：≤0.3%,；
探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm,；
探針壓力：5～16 牛頓(總力)；

四探針探頭應(yīng)用參數(shù)    (見(jiàn)探頭附帶的合格證)

模擬電阻測(cè)量相對(duì)誤差
( 按JJG508-87進(jìn)行)    0.1Ω,、1Ω,、10Ω、100Ω小于等于0.3%±1字

整機(jī)測(cè)量zui大相對(duì)誤差   (用硅標(biāo)樣片：0.01-180Ω.cm測(cè)試)≤±5%

整機(jī)測(cè)量標(biāo)準(zhǔn)不確定度    ≤5%

軟件功能（選配）軟件可記錄,、保存,、打印每一點(diǎn)的測(cè)試數(shù)據(jù)，并統(tǒng)計(jì)分析測(cè)試數(shù)據(jù)zui大值,、zui小值,、平均值、zui大百分變化,、平均百分變化,、徑向不均勻度、并將數(shù)據(jù)生成直方圖,，也可把測(cè)試數(shù)據(jù)輸出到Excel中,，對(duì)數(shù)據(jù)進(jìn)行各種數(shù)據(jù)分析。軟件還可選擇自動(dòng)測(cè)量功能,，根據(jù)樣品電阻大小自動(dòng)選擇適合電流量程檔測(cè)試,。

計(jì)算機(jī)通訊接口：并口，高速并行采集數(shù)據(jù),，連接電腦使用時(shí)采集數(shù)據(jù)到電腦的時(shí)間只需要1.5秒

標(biāo)準(zhǔn)使用環(huán)境  溫度：23±2℃,；
相對(duì)濕度：≤65%；
無(wú)高頻干擾,；
無(wú)強(qiáng)光直射,；

天津綜科科技有限公司專(zhuān)業(yè)生產(chǎn)(供應(yīng))銷(xiāo)售紅外分光光度計(jì)、粉塵中游離二氧化硅檢測(cè)儀,、粉塵中游離二氧化硅測(cè)試儀、粉塵中游離二氧化硅分析儀,、粉末壓片機(jī),、電動(dòng)粉末壓片機(jī)、自動(dòng)粉末壓片機(jī),、紅外壓片機(jī),、扣式電池封口機(jī)、全自動(dòng)壓片機(jī),、進(jìn)口紅外粉末壓片機(jī),、單沖壓片機(jī),、紅外壓片模具、進(jìn)口紅外壓片模具,、X熒光硼酸模具,、鐵環(huán)模具、圓柱型開(kāi)瓣模具,、長(zhǎng)方型開(kāi)瓣模具,、圓柱型電加熱模具、平板模具,、紅外烘干箱,、紅外烘烤箱、瑪瑙研缽器,、溴化鉀粉末,、溴化鉀碎晶、紅外可拆液體池,、紅外固定液體池,、紅外氣體池、溴化鉀窗片,、氟化鈣窗片,、硒化鋅窗片、氟化鋇窗片,、紅外窗片,、紅外/紫外/熒光石英比色皿、石英窗片,、四探針測(cè)試儀,、四探針金屬/半導(dǎo)體電阻率測(cè)量?jī)x等系列產(chǎn)品,公司具有良好的市場(chǎng)信譽(yù),專(zhuān)業(yè)的銷(xiāo)售和技術(shù)服務(wù)團(tuán)隊(duì)生產(chǎn)經(jīng)營(yíng)紅外壓片模具系列多年經(jīng)驗(yàn)質(zhì)量保證、*,、售后服務(wù)周到是值得廣大客戶信賴(lài)的專(zhuān)業(yè)供應(yīng)商,。我公司長(zhǎng)年與全國(guó)各大高校、研究所,、研究院,、藥廠等多部門(mén)企事業(yè)單位實(shí)驗(yàn)室建立合作關(guān)系，受到廣大新老客戶的一直好評(píng),。

相關(guān)產(chǎn)品關(guān)鍵字：RTS-4,、RTS-5、RTS-9,、RTS-8,、RTS-3、RTS-2天津四探針測(cè)試儀,、SB100A/2四探針導(dǎo)體/半導(dǎo)體電阻率測(cè)試儀,、ST-21 方塊電阻測(cè)試儀,、CV-2000 型電容電壓特性測(cè)試儀、PN-30 導(dǎo)電類(lèi)型鑒別儀,、PN-12 導(dǎo)電類(lèi)型鑒別儀,、LT-2 單晶少子壽命測(cè)試儀、LT-3 單晶少子壽命測(cè)試儀