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IFM壓力傳感器使用原理
2022-6-29 閱讀(648)
IFM壓力傳感器使用原理:
IFM壓力傳感器是工實(shí)踐,、儀器儀表控制中zui為常用的一種傳感器,,并廣泛應(yīng)用于各種工自控環(huán)境,,涉及水利水電,、鐵路交通,、生產(chǎn)自控,、航空航天,、石化、油井,、電力,、船舶、機(jī)床,、管道等眾多行,。 力學(xué)傳感器的種類繁多,,如電阻應(yīng)變片壓力傳感器、半導(dǎo)體應(yīng)變片壓力傳感器,、壓阻式壓力傳感器,、電感式壓力傳感器、電容式壓力傳感器,、諧振式壓力傳感器及電容式加速度傳感器等,。但應(yīng)用廣泛的是壓阻式壓力傳感器,它具有極低的價(jià)格和較高的精度以及較好的線性特性,。 壓阻式壓力傳感器原理與應(yīng)用:壓阻式壓力傳感器是利用單晶硅材料的壓阻效應(yīng)和集成電路技術(shù)制成的傳感器,。壓阻式傳感器常用于壓力、拉力,、壓力差和可以轉(zhuǎn)變?yōu)榱Φ淖兓钠渌锢砹浚ㄈ缫何?、加速度、重量,、?yīng)變,、流量、真空度)的測(cè)量和控制,。壓阻效應(yīng),,當(dāng)力作用于硅晶體時(shí),晶體的晶格產(chǎn)生變形,使載流子從一個(gè)能谷向另一個(gè)能谷散射,引起載流子的遷移率發(fā)生變化,,擾動(dòng)了載流子縱向和橫向的平均量,,從而使硅的電阻率發(fā)生變化。這種變化隨晶體的取向不同而異,,因此硅的壓阻效應(yīng)與晶體的取向有關(guān),。硅的壓阻效應(yīng)不同于金屬應(yīng)變計(jì),前者電阻隨壓力的變化主要取決于電阻率的變化,,后者電阻的變化則主要取決于幾何尺寸的變化(應(yīng)變),,而且前者的靈敏度比后者大50~100倍。
壓阻式壓力傳感器結(jié)構(gòu) 壓阻式壓力傳感器采用集成工藝將電阻條集成在單晶硅膜片上,制成硅壓阻芯片,并將此芯片的周邊固定封裝于外殼之內(nèi),,引出電極引線,。壓阻式壓力傳感器又稱為固態(tài)壓力傳感器,它不同于粘貼式應(yīng)變計(jì)需通過(guò)彈性敏感元件間接感受外力,,而是直接通過(guò)硅膜片感受被測(cè)壓力的,。硅膜片的一面是與被測(cè)壓力連通的高壓腔,另一面是與大氣連通的低壓腔,。硅膜片一般設(shè)計(jì)成周邊固支的圓形,,直徑與厚度比約為20~60。在圓形硅膜片(N型)定域擴(kuò)散4條P雜質(zhì)電阻條,并接成全橋,,其中兩條位于壓應(yīng)力區(qū),,另兩條處于拉區(qū),相對(duì)于膜片中心對(duì)稱,。硅柱形敏感元件也是在硅柱面某一晶面的一定方向上擴(kuò)散制作電阻條 ,,兩條受拉應(yīng)力的電阻條與另兩條受壓應(yīng)力的電阻條構(gòu)成全橋 壓力傳感器工作原理—壓力傳感器的分類
壓力傳感器的類型非常多,主要有應(yīng)變式壓力傳感器,、陶瓷壓力傳感器,、擴(kuò)散硅壓力傳感器、藍(lán)寶石壓力傳感器,、壓電壓力傳感器等,。