電能轉(zhuǎn)化為化學(xué)能,，哈默納科電子加速器諧波SHD-32-100-2SH產(chǎn)生輻射化學(xué)或物理效應(yīng),，使電子膠的分子鏈被切斷或重新組合而形成分子量的變化以實(shí)現(xiàn)電子束曝光,。采用這種方法，可以實(shí)現(xiàn)材料表面微槽或其他幾何形狀的刻蝕加工,。

   2.特點(diǎn)

   1)由于電子束能夠極其微細(xì)地聚焦,，甚至能聚焦到O.lE}m}所以加工面積可以很小，是一種精密微細(xì)的加工方法,。微型機(jī)械中的光刻技術(shù)可達(dá)到亞微米級(jí)寬度,。

   電子束加工設(shè)備的基本結(jié)構(gòu)主要由電子槍、真空系統(tǒng),、控制棄統(tǒng)和電源等部分組成,。

   電子槍是獲得電子束的裝置，它包括電子發(fā)射陰極,、控制柵極和加速陽(yáng)極等,。陰極經(jīng)能流加熱發(fā)射電子，帶負(fù)電荷的電子高速飛向帶高電位的陽(yáng)極,。在飛向陽(yáng)極的過(guò)程中,，經(jīng)過(guò)力!速極加速，又通過(guò)電磁透鏡把電子束聚焦成很小的束斑,。

   發(fā)射陰極一般用鎢或擔(dān)制成,，在加熱狀態(tài)下發(fā)射大量電子。小功率時(shí)用鎢或擔(dān)做成些狀陰極,，大功率時(shí)用擔(dān)做成塊狀陰極哈默納科電子加速器諧波SHD-32-100-2SH,，控湘柵極為中間有孔的圓筒形，其上加以較陰極為負(fù)的偏壓,，既能控制電子束的強(qiáng)弱,，又有初步的聚焦作用。加速陽(yáng)極通常接地,，而陰極為很高的負(fù)電壓,，所以能驅(qū)使電子加速。