GD90輝光放電質(zhì)譜儀

Autoconcept GD90是一個(gè)專為高精度元素分析所設(shè)計(jì)的高分辨輝光放電質(zhì)譜儀,。此輝光放電質(zhì)譜儀（GDMS）提供了固體金屬與緣體的直接分析檢測,。它具有非常寬的元素覆蓋范圍，可得到超過70種元素的有效數(shù)據(jù),，靈敏度高,，輕元素重元素均可。

    GDMS技術(shù)使原子化（碎片化）過程與離子化過程分開進(jìn)行,，故而可容易的對ppb至ppt級別的痕量雜質(zhì)進(jìn)行測量,。此法還使得GDMS技術(shù)擁有 小的基體效應(yīng)且無須特定參照材料。它可對金屬與合金進(jìn)行全掃描分析,，可對半導(dǎo)體進(jìn)行整體的測量分析,，可對多層結(jié)構(gòu)與鍍層進(jìn)行深度剖析。是包括金屬,、合金,、半導(dǎo)體以及緣體（須配RF源）等高純材料的生產(chǎn)與質(zhì)量控制的理想工具,。

GD90輝光放電質(zhì)譜儀的主要特性：

·高分辨率,，特別是對于有干擾離子存在的測定而言十分重要,。

·廣泛的元素涵蓋范圍，軟件中包括70個(gè)元素相關(guān)的干擾離子數(shù)據(jù),。

·由于原子化和離子化過程發(fā)生在不同區(qū)域,，帶來可忽略的基體效應(yīng)。

·低至亞ppb級的定量數(shù)據(jù),。

·具有深度剖面同位素比值分析能力,。

· 少的樣品制備過程。

應(yīng)用領(lǐng)域：

輝光放電質(zhì)譜儀--AUTOCONCEPT GD90              

半導(dǎo)體：

幾乎所有的電子,、光學(xué)與光電設(shè)備都需要高純度半導(dǎo)體,。此類半導(dǎo)體的電學(xué)性質(zhì)依賴于其中的雜質(zhì)成分。此類材料只有達(dá)到低的雜質(zhì)水平才能保證終端產(chǎn)品（例如微處理器與微型器件）的性能,。

GDMS有助于半導(dǎo)體的整體調(diào)查分析,，可對雜質(zhì)進(jìn)行定量鑒定，可達(dá)到痕量與超痕量水平,。

核能：

在核技術(shù)與核研究中,，科研人員對同位素比例進(jìn)行精準(zhǔn)的測量有著極大的興趣。被廣泛接受的方法是熱電離質(zhì)譜(TIMS),。在此方法中,，樣品必須被溶解，需要在分析前對感興趣的分析物進(jìn)行化學(xué)分離,。

GDMS同樣被用于含核材料樣品的同位素鑒定,。通過對比，GDMS被證明是在精準(zhǔn)度要求的前提下對B,，Li以及U同位素豐度鑒定的優(yōu)勢性技術(shù),。GDMS有著減少樣品制備過程的優(yōu)勢。

高純度金屬:

在金屬與合金的大批量生產(chǎn)過程中,，痕量雜質(zhì)的總量不易控制,。但為了控制其力學(xué)、化學(xué),、電學(xué)與其他高級性質(zhì),，受控添加痕量元素以及提純過程都是減少材料雜質(zhì)含量所需要的。

GDMS有助于成品中雜質(zhì)的檢出與鑒定,，以確保由此金屬制成的系統(tǒng)的質(zhì)量與性能,。

合金

合金與超合金試生產(chǎn)高性能機(jī)械-例如渦輪機(jī)-的關(guān)鍵材料。由于此類機(jī)械通常在高溫高壓下運(yùn)行,，即使痕量元素成分發(fā)生輕微變化都有可能導(dǎo)致災(zāi)難性后果,。

GDMS在鑒定產(chǎn)品的元素組成上非常理想，用以保證機(jī)械系統(tǒng)的 優(yōu)化性能,。

輝光放電質(zhì)譜法作為一種固體樣品的直接分析方法,，被認(rèn)為是目前為止*的同時(shí)具有 廣泛的分析元素范圍和足夠靈敏度的元素分析方法,，已成為固體材料多元素分析尤其是高純材料分析的強(qiáng)有力的工具。直接對固體進(jìn)行分析避免了將固體轉(zhuǎn)化成溶液時(shí)因在溶解,、稀釋等過程中造成的玷污和靈敏度降低,，而且該方法對樣品的分析面積大，所得數(shù)據(jù)結(jié)果有好的代表性,。

優(yōu)勢分析應(yīng)用領(lǐng)域： 

 金屬及合金材料

包括高純金屬,，濺射靶材，稀貴金屬,，超級合金等材料的痕量雜質(zhì)的半定量和定量分析,，同時(shí)可分析C、N,、O等輕元素,。 

 半導(dǎo)體材料

包括硅片，CdTe,，GaAs及其他多種高純電子材料的雜質(zhì)分析,。 

 無機(jī)非金屬材料

包括陶瓷粉末，玻璃,，稀土氧化物等材料分析,。 

薄層分析，深度分布剖面分析等