X射線熒光光譜儀是利用初級X射線光子或其他微觀離子激發(fā)待測物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級X射線）而進(jìn)行物質(zhì)成分分析和化學(xué)態(tài)研究的方法,。按激發(fā),、色散和探測方法的不同，分為X射線光譜法（波長色散）和X射線能譜法（能量色散）,。具有重現(xiàn)性好,，測量速度快，靈敏度高的特點,。能分析F(9)～U(92)之間所有元素,。樣品可以是固體、粉末,、熔融片,，液體等,，分析對象適用于煉鋼、有色金屬,、水泥,、陶瓷、石油,、玻璃等行業(yè)樣品,。
X射線熒光光譜儀的技術(shù)原理介紹：
受激發(fā)的樣品中的每一種元素會放射出二次X射線，并且不同的元素所放射出的二次X射線具有特定的能量特性或波長特性,。探測系統(tǒng)測量這些放射出來的二次X射線的能量及數(shù)量,。然后，儀器軟件將探測系統(tǒng)所收集到的信息轉(zhuǎn)換成樣品中各種元素的種類及含量,。
元素的原子受到高能輻射激發(fā)而引起內(nèi)層電子的躍遷,，同時發(fā)射出具有一定特殊性波長的X射線，根據(jù)莫斯萊定律,，熒光X射線的波長λ與元素的原子序數(shù)Z有關(guān),，其數(shù)學(xué)關(guān)系如下：
λ=K(Z− s) −2
式中K和S是常數(shù)。
而根據(jù)量子理論,，X射線可以看成由一種量子或光子組成的粒子流,，每個光具有的能量為：
E=hν=h C/λ
式中，E為X射線光子的能量,，單位為keV,；h為普朗克常數(shù)；ν為光波的頻率,；C為光速,。
因此,只要測出熒光X射線的波長或者能量,就可以知道元素的種類，這就是熒光X射線定性分析的基礎(chǔ),。此外,熒光X射線的強(qiáng)度與相應(yīng)元素的含量有一定的關(guān)系,，據(jù)此，可以進(jìn)行元素定量分析,。
10
