X射線熒光光譜儀的物理原理

　　當(dāng)材料暴露在短波長(zhǎng)X光檢查,，或伽馬射線，其組成原子可能發(fā)生電離,，如果原子是暴露于輻射與能源大于它的電離勢(shì),，足以驅(qū)逐內(nèi)層軌道的電子，然而這使原子的電子結(jié)構(gòu)不穩(wěn)定,，在外軌道的電子會(huì)“回補(bǔ)”進(jìn)入低軌道,，以填補(bǔ)下來的洞。在“回補(bǔ)”的過程會(huì)釋出多余的能源,，光子能量是相等兩個(gè)軌道的能量差異的,。因此，物質(zhì)放射出的輻射,，這是原子的能量特性,。

　　XRF用X光或其他激發(fā)源照射待分析樣品，樣品中的元素之內(nèi)層電子被擊出后,，造成核外電子的躍遷,，在被激發(fā)的電子返回基態(tài)的時(shí)候，會(huì)放射出特征X光,；不同的元素會(huì)放射出各自的特征X光,，具有不同的能量或波長(zhǎng)特性。檢測(cè)器(Detector)接受這些X光,，儀器軟件系統(tǒng)將其轉(zhuǎn)為對(duì)應(yīng)的信號(hào),。這一現(xiàn)象廣泛用于元素分析和化學(xué)分析,，特別是在研究金屬，玻璃,，陶瓷和建筑材料,，以及在地球化學(xué)研究、法醫(yī)學(xué),、電子產(chǎn)品進(jìn)料品管（EURoHS）和考古學(xué)等領(lǐng)域,，在某種程度上與原子吸收光譜儀互補(bǔ)，減少工廠附設(shè)的品管實(shí)驗(yàn)室之分析人力投入,。

　　X射線熒光光譜法在化學(xué)分析

　　主要使用X射線束激發(fā)熒光輻射,。到了現(xiàn)在，該方法作為非破壞性分析技術(shù),，并作為過程控制的工具,，廣泛應(yīng)用于采掘和加工工業(yè)。原則上,，輕的元素,，可分析出鈹（z=4），但由于儀器的局限性和輕元素的低X射線產(chǎn)量,，往往難以量化,，所以針對(duì)能量分散式的X射線熒光光譜儀，可以分析從輕元素的鈉（z=11）到鈾,，而波長(zhǎng)分散式則為從輕元素的硼到鈾,。