能量色散X射線熒光光譜儀是根據(jù)元素輻射x射線熒光光子能量不同,,經(jīng)探測(cè)器接收后用脈沖高度分析器區(qū)別,進(jìn)行元素鑒定,,根據(jù)分析線脈沖高度分布的積分強(qiáng)度進(jìn)行元素定量的分析方法,。能量色散X射線熒光光譜儀主要用于固體、粉末或液體物質(zhì)的元素分析,,被廣泛用于許多部門和領(lǐng)域,已成為理化檢測(cè),、野外現(xiàn)場(chǎng)分析和過(guò)程控制分析等的重要工具。
能量色散X射線熒光光譜儀由X射線光管,、樣品室,、準(zhǔn)直器、探測(cè)器及技術(shù)電路和計(jì)算機(jī)組成,。此外,亦可在樣品前加一單色器,,達(dá)到降低背景的目的,,以改善色散X射線熒光光譜儀的檢出限。它與波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀的顯著不同是分光晶體,,而是直接用能量探測(cè)器來(lái)分辨特征譜線,,達(dá)到定性和定量分析的目的,。
當(dāng)樣品中待測(cè)元素的特征射線進(jìn)入能量探測(cè)器時(shí),既會(huì)產(chǎn)生電子孔穴對(duì),,其數(shù)量正比于入射光子的能量,,經(jīng)過(guò)前置放大器,產(chǎn)生典雅脈沖,。由于前方產(chǎn)生的信號(hào)幅度小,,信噪比低,需要慢脈沖成型放大器將其放大,,并采用濾波器壓制極低和*的高頻信號(hào),,改善信噪比,提高分辨率,。
在能量探測(cè)過(guò)程中,,多道分析器起著模數(shù)轉(zhuǎn)換的重要作用。多道分析器的作用是測(cè)量每一放大器的脈沖輸出高度,,按積分方式對(duì)脈高分類計(jì)數(shù),,完成模擬信號(hào)向數(shù)字信號(hào)的轉(zhuǎn)換,形成脈沖高度光譜,。在多道分析器中,,首先利用模數(shù)轉(zhuǎn)換器甄別脈沖信號(hào)的高度(能量),并按其能量分類以一定能量間隔作為X軸(道),,統(tǒng)計(jì)在該能量間隔內(nèi)的脈沖數(shù),,得到相應(yīng)能量的技術(shù),并作為Y軸,。從而獲得我們熟知的每道能量間隔的光子計(jì)數(shù),。
由于放大器和多道分析器均需要一定的時(shí)間進(jìn)行信息的處理和系統(tǒng)的重置與恢復(fù),在此期間無(wú)法接受新的脈沖信號(hào),,故會(huì)產(chǎn)生系統(tǒng)死時(shí)間,。當(dāng)計(jì)數(shù)率高的時(shí)候,兩個(gè)X射線光子在放大器輸出脈沖寬度內(nèi)同時(shí)達(dá)到探測(cè)器的機(jī)率很高,,這時(shí)會(huì)出現(xiàn)脈沖堆積,,兩個(gè)脈沖不能被分辨,脈沖發(fā)生畸變,。故在多道分析器中,,通常都會(huì)配置死時(shí)間校正和抗脈沖堆積電路來(lái)克服這兩個(gè)問(wèn)題。