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產品簡介
Solarius研發(fā)的厚度測量系統(tǒng)使用兩個上下精確對位的非接觸式傳感器,。這種測量方式快速準確，允許從上下兩側同時測量樣品的一層或多層的厚度,。
詳細介紹
為了讓厚度量測數(shù)據清晰而又精確,，一種使用良好技術的雙傳感器測厚系統(tǒng)應運而生。
Solarius研發(fā)的厚度測量系統(tǒng)使用兩個上下精確對位的非接觸式傳感器,。這種測量方式快速準確,，允許從上下兩側同時測量樣品的一層或多層的厚度。系統(tǒng)工作時,，樣品上下兩側同步量測,，這樣來自上下兩種傳感器的測量值差異將生成終的厚度數(shù)據。
快速且精確的厚度檢測
模塊化設計
高效率大面積檢測
靈活且易于自動化
可定制的人機交互式界面
定制化分析
非接觸式無損測量
AOP厚度測量系統(tǒng)配備一套納米級精度的XY運動平臺,，該平臺測量范圍高達400mmx400mm,。兩個對稱安裝的高速點或線傳感器，其高度測量范圍從2mm到145mm,，分辨率從0.2um到5um,。Solarius SolarScan軟件提供自動測量功能以及定制化程序模板,；模塊化的系統(tǒng)設計為定制化分析軟件提供了較大程度的靈活性,。