太陽能表面檢測系統(tǒng)

 μsurf系列產(chǎn)品采用多孔共聚焦技術(shù),，結(jié)合CCD的影像攝取,，以有許多孔洞的旋轉(zhuǎn)盤取代偵測器的孔洞，再將物鏡垂直移動，以類似斷層攝影方式,，可在短時間內(nèi)(約幾秒)精確量測物體的三維數(shù)據(jù),。其測量方式是非接觸式，不會破壞樣品的表面,，不需要在真空環(huán)境下測量,，也可以用顯微鏡測量的功能來觀測樣本，其在嚴(yán)酷的工作環(huán)境下,，也能正常使用,。由于使用了共聚焦的方法，在測量漸變較大的高度時,，跟其他方法相比,，可以更精確量測物體高度，建立3D立體影像,，優(yōu)勢相當(dāng)明顯,。 

      NanoFocus μsurf solar太陽能電池3D顯微鏡，可以對太陽能電池片進(jìn)行自動化測量,，廣泛適用于單晶,、多晶和薄膜太陽能電池片，一分鐘內(nèi)可以自動測量12個區(qū)域,，是質(zhì)量檢驗和生產(chǎn)控制中的zui有效的光學(xué)三維表面測量和分析工具,。可以進(jìn)行太陽能電池片柵線的3D形貌表征,、高寬比測量,，制絨后3D形貌表征（單晶金字塔大小、數(shù)量,、角度,、比表面積，多晶腐蝕坑形貌,、密度）,，粗糙度分析,，以及減反射層腐蝕表面的測量,，薄膜小孔的檢測和自動分析。 
    
      作為太陽能行業(yè)必要設(shè)備,，μsurf solar太陽能電池3D顯微鏡從硬件到軟件均是針對太陽能行業(yè)定制開發(fā)出來的,，其測量樣品的平臺帶有真空吸盤，可以承受210mmX210mm的樣品,，能確保太陽能電池片移動時不破壞,。適用μsurf solar有利于控制生產(chǎn)工藝,提高效率,是質(zhì)量的可靠保證。

太陽能行業(yè)解決方案
      μsurf solar 從硬件到軟件是專為滿足太陽能行業(yè)實驗室和生產(chǎn)過程檢測需求的一個解決方案，測試范圍為米級的超長行程使得檢測整個薄膜太陽能模塊得以實現(xiàn),，結(jié)合真空吸盤夾具和專門的算法,，您可以更安全更有效地測量與分析反射表面以達(dá)到業(yè)界*的測量結(jié)果。

太陽能表面檢測系統(tǒng)技術(shù)參數(shù) 
LED光源：λ= 505 nm, MTBF: 50,000 h 
測量時間：2~10秒 
測量原理：非接觸,、共聚焦 
X/Y方向：平臺移動范圍200mmX200mm,，馬達(dá)驅(qū)動，zui大移動速度40 mm/s,，X/Y方向分辨率：0.3μm 
Z方向測量范圍：500μm,，Z方向分辨率：1nm 
物鏡：10X、20X,、50X,、100X(可選) 
離軸攝像頭(10X)，zui大視野8 x 6 mm2(選配) 
計算機(jī)：高性能計算機(jī)控制系統(tǒng),，功能強(qiáng)大且附帶全面解決方案的自動化軟件 
工作電源：100-240V, 50-60Hz,，input: 550 VA 
材質(zhì)：鋼鐵、橡膠,、大理石 
潔凈室等級: Capability class 6 (according to DIN EN ISO 14644)