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臺(tái)式掃描電鏡的工作原理是怎樣的,？
閱讀：1518 發(fā)布時(shí)間：2022-3-3
臺(tái)式掃描電鏡利用極細(xì)電子束在被觀測樣品表面上進(jìn)行掃描，通過分別收集電子束與樣品相互作用產(chǎn)生的一系列電子信息,，經(jīng)轉(zhuǎn)換,、放大而成像的電子光學(xué)儀器，是研究三維表層構(gòu)造的有利工具,。
在高真空的鏡筒中,，由電子槍產(chǎn)生的電子束經(jīng)電子會(huì)聚透鏡聚焦成細(xì)束后，在樣品表面逐點(diǎn)進(jìn)行掃描轟擊,，產(chǎn)生一系列電子信息（二次電子,、背反射電子、透射電子,、吸收電子等）,，由探測器將各種電子信號(hào)接收后經(jīng)電子放大器放大后輸入由顯像管柵極控制的顯像管。
聚焦電子束對(duì)樣品表面掃描時(shí),，由于樣品不同部位表面的物理,、化學(xué)性質(zhì),、表面電位,、所含元素成分及凹凸形貌不同，致使電子束激發(fā)出的電子信息各不相同,，導(dǎo)致顯像管的電子束強(qiáng)度也隨著不斷變化,，從而在顯像管熒光屏上可以獲得一幅與樣品表面結(jié)構(gòu)相對(duì)應(yīng)的圖像。
根據(jù)探測器接收的電子信號(hào)的不同,，可分別獲得樣品的背散射電子圖像,、二次電子圖像,、吸收電子圖像等。掃描電鏡分辨率可達(dá)50~100Å,，電子放大倍數(shù)可由十幾倍連續(xù)變化到幾十萬倍,。因此可以對(duì)樣品的整個(gè)表面進(jìn)行比較仔細(xì)的觀察。
調(diào)查表明接近90%的掃描電鏡圖片是在2萬倍以下拍攝的,，因此,，臺(tái)式掃描電鏡可以滿足絕大多數(shù)傳統(tǒng)SEM用戶的需求，其應(yīng)用領(lǐng)域廣泛,，包括：粉末,、金相、制藥,、造紙,、半導(dǎo)體、微電子,、生命科學(xué)……