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三維形貌輪廓儀是什么，它有哪些神秘面紗,？
閱讀：1176 發(fā)布時(shí)間：2021-5-18
三維形貌輪廓儀能夠在同一測試平臺上運(yùn)行多種測試,，產(chǎn)品的組合可根據(jù)不同的技術(shù)應(yīng)用要求而改變。針對樣品的同一區(qū)域可進(jìn)行不同模式的實(shí)驗(yàn)檢測,，模式切換可實(shí)現(xiàn)全自動化,。
儀器利用白光點(diǎn)光源，光線經(jīng)過透鏡后產(chǎn)生色差,，不同波長的光分開后入射到被測樣品上,。位于白光光源的對稱位置上的超靈敏探測器系統(tǒng)用來接收經(jīng)被測點(diǎn)漫反射后的光。根據(jù)準(zhǔn)共聚焦原理,，探測器系統(tǒng)只能接收到被測物體上單點(diǎn)反射回來的特定波長的光,，從而得到這個(gè)點(diǎn)距離透鏡的垂直距離。
然后通過點(diǎn)掃描的方式可得到一條線上的坐標(biāo),，即X-Z坐標(biāo)后以S路徑獲得物體每個(gè)點(diǎn)的三維X-Y-Z坐標(biāo),。后將采集的三維坐標(biāo)數(shù)據(jù)交給儀器自帶的三維處理軟件進(jìn)行各種表面參數(shù)的分析。
三維形貌輪廓儀使用的注意事項(xiàng)：
1,、測量結(jié)束,，退出系統(tǒng)，關(guān)閉電腦,，切斷電源,；
2、測量完畢后用棉花拈汽油清洗工作臺及夾具,，并涂油防銹,；
3,、儀器配件要注意防銹；
4,、要定期（具體周期視環(huán)境定）清潔氣浮導(dǎo)軌,，以保證導(dǎo)軌的精度。
三維形貌輪廓儀可測量各種機(jī)械零件的素線輪廓形狀參數(shù),，角度處理(坐標(biāo)角度,，與Y坐標(biāo)的夾角，兩直線夾角),、圓處理(圓弧半徑,，圓心到圓心距離，圓心到直線的距離,，交點(diǎn)到圓心的距離,，直線到切點(diǎn)的距離)、輪廓度,、水平距離等形狀參數(shù),。