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白光干涉儀目前在3D檢測領(lǐng)域是精度高的測量儀器之一,，在同等系統(tǒng)放大倍率下檢測精度和重復(fù)精度都高于共聚焦顯微鏡和聚焦成像顯微鏡,，在一些納米級和亞納米級的超精密加工領(lǐng)域，除了白光干涉儀,，其它的儀器無法達到其加工精度要求,。
光學(xué)顯微干涉測量的基本原理：
    光源發(fā)出的光經(jīng)過擴束準(zhǔn)直后經(jīng)分光棱鏡后分成兩束,，一束經(jīng)被測表面反射回來,，另外一束光經(jīng)參考鏡反射，兩束反射光終匯聚并發(fā)生干涉,，顯微鏡將被測表面的形貌特征轉(zhuǎn)化為干涉條紋信號,，通過測量干涉條紋的變化來測量表面三維形貌。
    白光干涉三維形貌儀是利用光學(xué)干涉原理研制開發(fā)的超精密表面輪廓測量儀器,。照明光束經(jīng)半反半透分光鏡分成兩束光,，分別投射到樣品表面和參考鏡表面。從兩個表面反射的兩束光再次通過分光鏡后合成一束光,，并由成像系統(tǒng)在CCD相機感光面形成兩個疊加的像,。由于兩束光相互干涉,，在CCD相機感光面會觀察到明暗相間的干涉條紋。干涉條紋的亮度取決于兩束光的光程差,，根據(jù)白光干涉條紋明暗度以及干涉條文出現(xiàn)的位置解析出被測樣品的相對高度,。
    白光干涉測量法已被用來測量微間隙的厚度。采用這種方法來顏值浮動塊,。浮動塊作為磁傳感器的載體,，它與磁盤表面考得很近。如果正確設(shè)計浮動塊的表面形狀,，并在其上施加適當(dāng)?shù)妮d荷,，由于在旋轉(zhuǎn)的盤片上存在附面層，于是在浮動塊下形成自起作用的空氣軸承,。
白光干涉儀的測量應(yīng)用：
以測量單刻線臺階為例,，在檢查儀器的各線路接頭都準(zhǔn)確插入對應(yīng)插孔后，開啟儀器電源開關(guān),，啟動計算機,，將單刻線臺階工件放置在載物臺中間位置，先手動調(diào)整載物臺大概位置,，對準(zhǔn)白光干涉儀目鏡的下方,。
    在計算機上打開光學(xué)3D表面輪廓儀測量軟件，在軟件界面上設(shè)置好目鏡下行的低點,，再微調(diào)鏡頭與被測單刻線臺階表面的距離,，調(diào)整到計算機屏幕上可以看到兩到三條干涉條紋為佳，此時設(shè)置好要掃描的距離,。按開始按鈕,，光學(xué)3D表面輪廓儀可自動進行掃描測量，測量完成后,，軟件自動生成3D圖像,，測量人員可以對3D圖像進行數(shù)據(jù)分析，獲得被測器件表面線,、面粗糙度和輪廓的2D,、3D參數(shù)。
    光學(xué)3D表面輪廓儀具有測量精度高,、操作便捷,、功能全面、測量參數(shù)涵蓋面廣的優(yōu)點,，測量單個精密器件的過程用時2分鐘以內(nèi),，確保了率檢測。光學(xué)3D表面輪廓儀*的特殊光源模式，可以廣泛適用于從光滑到粗糙等各種精密器件表面的測,。