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表面三維形貌檢測儀在工業(yè)改進中不斷革新
閱讀：1405 發(fā)布時間：2019-4-26
隨著科學(xué)技術(shù)的發(fā)展,，微電子,、光學(xué)、機械行業(yè)對超精密加工元件的表面面形精度檢測要求越來越高,，工業(yè)生產(chǎn)在線檢測對測量儀器的穩(wěn)定性,、便攜性、靈活性和功能性提出了更高的要求,。而國內(nèi)現(xiàn)有儀器均局限于實驗室檢測,，用于在線檢測的表面三維形貌檢測儀*依賴進口，價格昂貴,。本作品旨在設(shè)計一款高性能,、低成本表面形貌在線檢測儀，滿足相關(guān)產(chǎn)業(yè)檢測需求,?；驹O(shè)計思路：本作品在Mirau型干涉顯微鏡的基礎(chǔ)上，改進了光機系統(tǒng)結(jié)構(gòu)和軟件算法,。在保證精度的前提下,，本作品體積減小，穩(wěn)定性提高,，滿足了在線檢測的要求,。創(chuàng)新點：1、采用光機電算集成化技術(shù),，實現(xiàn)了光機系統(tǒng)緊湊化設(shè)計,，建立了軟件與電路系統(tǒng)通過自反饋矯正系統(tǒng)誤差的機制，滿足了在線檢測要求,；2,、測量臺采用背測式結(jié)構(gòu)，具有正置,、倒置兩種測量模式,，打破了被測元件尺寸限制，可以實現(xiàn)被測件的快速切換,；3,、該作品采用重疊平均移相干涉算法和自主開發(fā)的軟件系統(tǒng)，實現(xiàn)測量過程的自動控制,。
在市場需求的推動下,，用于工業(yè)生產(chǎn)的干涉儀向小型化發(fā)展，并且對儀器的抗干擾能力,、操作簡便性,、測量精度、橫向與縱向測量范圍都提出了更高的要求。因此本作品作為一種成本低,、功能強的型表面微觀形貌檢測儀器,，具有很好的發(fā)展前景。