您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
共聚焦顯微鏡技術(shù)原理
µsurf 共聚焦技術(shù)原理
基于NanoFocus CMP技術(shù)（共焦多針孔）的魯棒μsurf傳感器技術(shù)。在幾秒鐘內(nèi),，獲得微觀和納米范圍內(nèi)的形貌,、粗糙度和層厚度。
SURF技術(shù)的功能原理
NanoFocus共聚焦顯微鏡包括LED光源,、旋轉(zhuǎn)多針孔盤、帶有壓電驅(qū)動(dòng)器的物鏡和CCD相機(jī)。LED源通過多針孔盤（MPD）和物鏡聚焦到樣品表面上,，從而反射光。反射光通過MPD的針孔減小到聚焦的部分,，這落在CCD相機(jī)上,。來自傳統(tǒng)光學(xué)顯微鏡的圖像包含清晰和模糊的細(xì)節(jié)。相反,，在共焦圖像中,，通過多針孔盤的操作濾除模糊細(xì)節(jié)（未聚焦）。只有來自焦平面的光到達(dá)CCD相機(jī),。因此,，共聚焦顯微鏡能夠在納米范圍內(nèi)獲得高分辨率。
每個(gè)共焦圖像是通過樣品的形貌的水平切片,。在不同的焦點(diǎn)高度捕獲圖像產(chǎn)生這樣的圖像的堆疊,，通過共焦顯微鏡通過壓電驅(qū)動(dòng)器通過物鏡的垂直位移來實(shí)現(xiàn)。200到400個(gè)共焦圖像通常在幾秒內(nèi)被捕獲，之后軟件從共焦圖像的堆棧重建的三維高度圖像,。
優(yōu)勢(shì)
μsurf技術(shù)在微米和納米范圍的技術(shù)表面表征方面具有許多優(yōu)點(diǎn),。
與SEM（X，Y）相反,，μSURF提供真實(shí)三維坐標(biāo)（x,，y，z）中的數(shù)據(jù),。只有這種定量數(shù)據(jù)能夠地分析3D表面參數(shù),，從而提供關(guān)于表面紋理的更大范圍的信息。μSurf系統(tǒng)的測(cè)量不需要以前的樣品制備,。
在許多工業(yè)部門中,，標(biāo)準(zhǔn)的測(cè)量方法是觸覺掃描。國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)與技術(shù)研究所（NIST）的獨(dú)立第三方研究表明,，μSURF技術(shù)達(dá)到觸覺系統(tǒng)的高相關(guān)性（99%）,。另外，被檢查材料的硬度的差異是不相關(guān)的,，因?yàn)橄到y(tǒng)在沒有接觸和破壞表面的情況下工作,。