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用納米級(jí)精度測量微小零件復(fù)雜的三維表面幾何形狀
以納米級(jí)精度測量復(fù)雜表面幾何形狀的微小零件
不斷小型化是半導(dǎo)體行業(yè)的長期發(fā)展趨勢,。微小部件的生產(chǎn)和質(zhì)量控制對測量技術(shù)提出了挑戰(zhàn)。
在微機(jī)電和光學(xué)元件的生產(chǎn)中,，產(chǎn)品良率取決于復(fù)雜表面幾何形狀尺寸的一致性,。由于微系統(tǒng)技術(shù)中的產(chǎn)品設(shè)計(jì)通常是三維的，因此不能簡單地用傳統(tǒng)的二維光學(xué)視覺系統(tǒng)進(jìn)行檢測,。傳統(tǒng)光學(xué)技術(shù)以及接觸式測量儀很難測量出高深寬比的結(jié)構(gòu),。而這些正是NanoFocus測量系統(tǒng)的優(yōu)勢所在。
應(yīng)用
利用μsurf,、μscan和μsprint,，可以在制造過程的各個(gè)階段通過非接觸無損方式測量并自動(dòng)評(píng)估微部件的幾何形狀。在機(jī)械,、光學(xué)及化工行業(yè),，NanoFocus測量系統(tǒng)幫助制造商在生產(chǎn)過程中降低成本同時(shí)提高良率。
壓力傳感器
在通過蝕刻生產(chǎn)高壓傳感器時(shí),，需要檢查各種幾何參數(shù),，例如深度、寬度和層厚度以及粗糙度,，進(jìn)而對工藝參數(shù)進(jìn)行配置,。使用μsurf一次測量即可獲取表面粗糙度、支柱的微觀幾何尺寸以及金屬表面的涂層厚度等信息,。
菲涅爾透鏡
在檢測玻璃表面的亞微米結(jié)構(gòu)時(shí),，要求即使在弱反射的情況下,，測量儀器可以穩(wěn)定測量同時(shí)保證高分辨率。適用于各種表面特性的μsurf*上述要求,。
蘇州曼戈斐儀器提供玻璃,、鏡片、雙攝像頭模組等翹曲度測量,、面形測量,、弧高測量、面輪廓度測量,、指紋識(shí)別測量,、芯片翹曲測量、磨損體積測量等樣品免費(fèi)測量,，歡迎垂詢,！