您好, 歡迎來到化工儀器網(wǎng)
太陽能行業(yè)3D形貌測量應用（金手指金字塔有成熟測量方案）
閱讀：1431 發(fā)布時間：2019-1-22
μsurf solar可以選配微分干涉 (DIC,微分干涉像差顯微技術(shù))用于再現(xiàn)金字塔的角度變化及快速檢測晶片上的臟污和缺陷,。與通過硬件實現(xiàn)DIC功能相比,，由NanoFocus 3D形貌測量開發(fā)的實現(xiàn)軟件DIC具備眾多優(yōu)點:如使用方便,，可同時顯示不同角度和方向,，不受高度范圍限制等。
運用新算法的區(qū)域測量能夠提供穩(wěn)定和可重復的3D數(shù)據(jù)。通過結(jié)合高度和反射強度數(shù)據(jù)，可以地確定邊緣,，從而可以以納米級精度測量手指的高度和寬度。為了進一步提高測量效率,，測量系統(tǒng)可以選配針對太陽能行業(yè)的便捷自動化軟件,。
應用
μsurf solar無需制備樣品即可進行無損測量分析,這使得μsurf solar不僅適合在實驗室使用，還適合于生產(chǎn)環(huán)境,。對于μsurf solar,，產(chǎn)品表面是否具有蝕刻結(jié)構(gòu)或抗反射涂層并不會影響測量結(jié)果;此外，對于具有諸如陡峭的邊緣,、納米范圍復雜幾何形狀和結(jié)構(gòu)等棘手特征的樣品,，μsurf solar在幾秒鐘內(nèi)即可提供且可重復的3D測量數(shù)據(jù)。
金字塔結(jié)構(gòu)
μsurf solar自動確定金字塔的分布,、角度,、高度、數(shù)量和同質(zhì)性,。