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傳感器發(fā)展重點(diǎn)

(1)MEMS工藝和新一代固態(tài)傳感器微結(jié)構(gòu)制造工藝：深反應(yīng)離子刻蝕(DRIE)工藝或IGP工藝;封裝工藝：如常溫鍵合倒裝焊接,、無(wú)應(yīng)力微薄結(jié)構(gòu)封裝,、多芯片組裝工藝;新型傳感器：如用微硅電容傳感器、微硅質(zhì)量流量傳感器,、航空航天用動(dòng)態(tài)傳感器,、微傳感器，汽車(chē)壓力,、加速度傳感器,，環(huán)保用微化學(xué)傳感器等。

(2)集成工藝和多變量復(fù)合傳感器微結(jié)構(gòu)集成制造工藝;工業(yè)控制用多變量復(fù)合傳感器,，如：壓力,、靜壓、溫度三變量傳感器,，氣壓,、風(fēng)力,、溫度、濕度四變量傳感器,，微硅復(fù)合應(yīng)變壓力傳感器,，陳列傳感器。

(3)智能化技術(shù)與智能傳感器信號(hào)有線或無(wú)線探測(cè),、變換處理,、邏輯判斷、功能計(jì)算,、雙向通訊,、自診斷等智能化技術(shù);智能多變量傳感器，智能電量傳感器和各種智能傳感器,、變送器,。

(4)網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)和網(wǎng)絡(luò)化傳感器傳感器網(wǎng)絡(luò)化技術(shù);網(wǎng)絡(luò)化傳感器，使傳感器具有工業(yè)化標(biāo)準(zhǔn)接口和協(xié)議功能,。

  戰(zhàn)略目標(biāo)

　　傳感器領(lǐng)域應(yīng)爭(zhēng)取實(shí)現(xiàn)三大戰(zhàn)略目標(biāo)：

　　以工業(yè)控制,、汽車(chē)、通訊,、環(huán)保為重點(diǎn)服務(wù)領(lǐng)域,，以傳感器、彈性元件,、光學(xué)元件,、電路為重點(diǎn)對(duì)象，發(fā)展具有自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的原創(chuàng)性技術(shù)和產(chǎn)品;

　　以MEMS工藝為基礎(chǔ),，以集成化,、智能化和網(wǎng)絡(luò)化技術(shù)為依托，加強(qiáng)制造工藝和新型傳感器和儀表元器件的開(kāi)發(fā),，使主導(dǎo)產(chǎn)品達(dá)到和接近國(guó)外同類(lèi)產(chǎn)品的*水平;

以增加品種,、提高質(zhì)量和經(jīng)濟(jì)效益為主要目標(biāo)，加速產(chǎn)業(yè)化,，使國(guó)產(chǎn)傳感器的品種占有率達(dá)到70%~80%,，產(chǎn)品達(dá)60%以上。