Tiger Optics

微量氣體定量分析的新方法：光腔衰蕩光譜( CRDS)

閻文斌，Tiger Optics,，LLC.  Warrington,，PA18976

介紹 

微量氣體雜質(zhì)定量分析在許多領(lǐng)域都非常重要，例如光譜學(xué),，化學(xué)分析,、醫(yī)療診斷、環(huán)境監(jiān)測和工業(yè)生產(chǎn)中的污染物控制等,。 在過去二十年間,，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步，半導(dǎo)體生產(chǎn)所用的氣體中zui大允許的不純度減少了四個數(shù)量級,。

的確,，超高純度氣體對于半導(dǎo)體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點(diǎn)具有極其重要的作用,。特別是已經(jīng)證實(shí)了的，氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導(dǎo)致瑕疵[1],。 所以半導(dǎo)體制造商要求氣體供應(yīng)商清楚地保證水分不能大于1-10 ppb,，今后會要求更低的水平。 

半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對高純度氣體的需求對氣體供應(yīng)商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰(zhàn),。微量水分的監(jiān)測不僅用于大用量氣體,，例如氮?dú)狻⒀鯕?、氫氣,、氦氣和氬氣，而且還要監(jiān)測特殊氣體,，例如HCl,，HBr，BF3,，AsH3,，CF4和許多其他氣體。 這些氣體往往是高腐蝕性,、易反應(yīng)和有毒的,。

這個挑戰(zhàn)要求微量氣體分析儀不僅應(yīng)具有高靈敏度、準(zhǔn)確度和快速響應(yīng)速度,，而且要能夠經(jīng)受腐蝕性氣體,。 現(xiàn)有的儀器很少滿足所有這些要求。 光腔衰蕩光譜(CRDS)是少數(shù)能達(dá)到上述要求的一種基于激光的光譜技術(shù),。*臺基于光腔衰蕩光譜(CRDS)原理的儀器,，MTO-1000-H2O，可以準(zhǔn)確,、快速地檢測普通氣體中200 ppt的水分,，此儀器還可用于腐蝕性和有毒氣體。