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激光震蕩衰減水分儀給檢測帶來便利
閱讀：1502發(fā)布時間：2022-3-21
激光震蕩衰減水分儀在許多領(lǐng)域都非常重要,，例如光譜學(xué),，化學(xué)分析、醫(yī)療診斷,、環(huán)境監(jiān)測和工業(yè)生產(chǎn)中的污染物控制等,。在過去二十年間，隨著半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的進(jìn)步,，半導(dǎo)體生產(chǎn)所用的氣體中允許的不純度減少了四個數(shù)量級,。
該儀器在性能上做了重大改革，摒棄了傳統(tǒng)儀器操作費(fèi)時費(fèi)力,、人工因素影響大等缺點(diǎn),，適用于各個行業(yè)以及實(shí)驗(yàn)室的需求，在使用中更便利,。一般來說,，水分儀測量一般樣品只需幾分鐘，檢測結(jié)果準(zhǔn)確,，且檢測效率遠(yuǎn)遠(yuǎn)高于烘箱法,，避免了因?yàn)槿斯ひ蛩貙y量結(jié)果產(chǎn)生的誤差。除此之外,，水分儀還具有測量水分范圍寬,、精度高、顯示清晰,、測量迅速,、性能穩(wěn)定、指標(biāo)可靠等優(yōu)點(diǎn),，可隨身攜帶在現(xiàn)場快速檢測,。
超高純度氣體對于半導(dǎo)體集成電路中所要求得越來越小的幾何特點(diǎn)具有極其重要的作用。特別是已經(jīng)證實(shí)了的,，氣體中只要有十億分之幾(ppb)的水分就可在硅片上導(dǎo)致瑕疵,。所以半導(dǎo)體制造商要求氣體供應(yīng)商清楚地保證水分不能大于1-10ppb，今后會要求更低的水平,。
半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)對高純度氣體的需求對氣體供應(yīng)商和分析儀器制造商提出了巨大挑戰(zhàn),。微量水分的監(jiān)測不僅用于大用量氣體，例如氮?dú)?、氧氣,、氫氣,、氦氣和氬氣，而且還要監(jiān)測特殊氣體,，例如HCl,，HBr，BF3,，AsH3,，CF4和許多其他氣體。這些氣體往往是高腐蝕性,、易反應(yīng)和有毒的,。
激光震蕩衰減水分儀是少數(shù)能達(dá)到上述要求的一種基于激光的光譜技術(shù)?；诠馇凰ナ幑庾V(CRDS)原理的儀器,，MTO-1000-H2O，可以準(zhǔn)確,、快速地檢測普通氣體中200ppt的水分,，此儀器還可用于腐蝕性和有毒氣體。
上海廣思微凈化設(shè)備有限公司主營產(chǎn)品：仕富梅氧分儀,JAG氧分儀,DegreeC風(fēng)速傳感器,Meeco/Tigeroptics氣體水分儀
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