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在工業(yè)生產(chǎn)中, 對(duì)壓力,、液位參數(shù)的測(cè)量和控制系統(tǒng)應(yīng)用非常廣泛, 尤其在石油化工部門(mén)對(duì)腐蝕性介質(zhì)的液位測(cè)量的要求更加嚴(yán)格,。對(duì)腐蝕性介質(zhì)的液位測(cè)量方法較多, 有吹氣式。浮球式電容式,、超聲波式,、吹氣式,、浮球式存在現(xiàn)場(chǎng)安裝、維護(hù)麻煩,、精度低等缺點(diǎn), 而電容式,、超聲波式目前大部分從美國(guó)羅斯蒙特公司、英國(guó)肯特公司,、德國(guó)E + H 公司引進(jìn), 存在價(jià)格貴間題,。采用擴(kuò)散硅壓阻式傳感器研制的耐腐蝕傳感器具有現(xiàn)蠕變小、滯后小,、精度高,、長(zhǎng)期穩(wěn)定性好、工作可靠以及現(xiàn)場(chǎng)安裝,、調(diào)試,、維護(hù)方便等優(yōu)點(diǎn), 完夠滿(mǎn)足石油化工部門(mén)要求。
 
二,、工作原理
擴(kuò)散硅傳感器是壓阻式壓力傳感器中的一種,可用于液位的測(cè)量,，作為液位變送器使用， 這種隔膜式壓力傳感器是利用硅的壓阻效應(yīng), 通過(guò)半導(dǎo)體平面工藝, 在一定晶向硅片的一定位置上擴(kuò)散4 個(gè)電阻, 連成惠斯通電橋,。當(dāng)膜片受到壓力時(shí), 通過(guò)密封腔內(nèi)的硅油將壓力同步傳遞給硅壓敏電阻, 4 個(gè)電阻中R l ,、R ; 減小,R Z 、R 3 增大,。當(dāng)電橋一個(gè)對(duì)角線(xiàn)通電時(shí), 另一個(gè)對(duì)角線(xiàn)就有與壓力大小成正比的電信號(hào)輸出,。

三,、液位變送器結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)
結(jié)構(gòu)設(shè)計(jì)由3 部分組成, 即耐腐蝕傳感器,、耐腐蝕導(dǎo)氣電纜和耐腐蝕中繼箱。耐腐蝕傳感器有隔離膜片,、耐腐蝕外殼,、密封腔及T O 一8硅杯座4 部分組成。采用雙層膜片隔離技術(shù), 一層膜片選用氟塑料薄膜, 將薄膜與同種材料的外殼焊接在一起把腐蝕性介質(zhì)與內(nèi)部傳感器*隔離達(dá)到防腐的目的; 第二層膜片選用不銹鋼波紋膜片與硅杯座通過(guò)氮孤焊連接在一起, 這樣就形成一個(gè)密封腔, 密封腔內(nèi)充滿(mǎn)純凈的硅油,。當(dāng)外力作用于一層膜片上時(shí), 該膜片緊壓第二層膜片并通過(guò)密封腔內(nèi)的硅油將外力同步傳遞給硅壓敏電阻, 從而使其輸出一個(gè)與壓力大小成正比的電信號(hào),。
 
四、穩(wěn)定性考核及測(cè)試方法
硅材料不但是良好的半導(dǎo)體材料, 而且其機(jī)械性能也十分優(yōu)良,。擴(kuò)散硅傳感器是利用硅的壓阻效應(yīng)將壓力信號(hào)轉(zhuǎn)換成電信號(hào), 所以硅芯片不存在蠕變和滯后的問(wèn)題, 硅片如不受污就可以長(zhǎng)期穩(wěn)定地工作,。傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性是一個(gè)十分重要的參數(shù), 只有長(zhǎng)期穩(wěn)定性好的傳感器才具有使用價(jià)值。傳感器穩(wěn)定性的測(cè)試是一項(xiàng)復(fù)雜而細(xì)致的工作,；從芯片到傳感器要經(jīng)過(guò)67 道工序, 一旦在一個(gè)工序上出現(xiàn)問(wèn)題, 就會(huì)影響傳感器穩(wěn)定性甚至出現(xiàn)廢品,。




 
液位變送器穩(wěn)定性測(cè)試方法歸納如下: 傳感器做成成品后都要經(jīng)過(guò)溫度老化、電老化和機(jī)械老化3 個(gè)階段,。溫度老化要經(jīng)過(guò)高溫80 ℃ 保持6 個(gè)小時(shí), 低溫一30 ℃ 保持6 個(gè)小時(shí)的幾次循環(huán), 電老化要在高溫80 ℃ 通電的情況下保持幾個(gè)小時(shí)甚至幾十個(gè)小時(shí), 機(jī)械老化要在傳感器量程范圍內(nèi)反復(fù)沖擊3 0 0 0一4 0 0 0 次,。當(dāng)傳感器經(jīng)過(guò)3 個(gè)老化階段后就能減小封接應(yīng)力, 同時(shí)使傳感器的電性能趨于穩(wěn)定, 并從中篩選出穩(wěn)定性好的傳感器同時(shí)剔除有缺陷的傳感器,。我們對(duì)傳感器的一次溫度循環(huán)變差做了測(cè)試。其循環(huán)溫度為25 ℃ -30 ℃ ,，25 ℃ ~ 80 ℃-25 ℃ ,。圖2 是3 個(gè)傳感器的零點(diǎn)變化曲線(xiàn)。在全部測(cè)試過(guò)程中, 零點(diǎn)輸出相對(duì)于滿(mǎn)量程輸出的變化量均在0.2% 以?xún)?nèi), 3 條曲線(xiàn)變更趨勢(shì)平穩(wěn), 傳感器長(zhǎng)期穩(wěn)定性較好,。絕大多數(shù)的傳感器經(jīng)過(guò)溫度循環(huán)后, 零點(diǎn)靈敏度都會(huì)有所變化,。
 
圖3 是在測(cè)試過(guò)程的4 個(gè)時(shí)期經(jīng)過(guò)一30 ℃一8 0 ℃ 溫度循環(huán)的零點(diǎn)變化圖。
 
圖中以一次溫度循環(huán)前的零點(diǎn)輸出為起點(diǎn), 繪出了每次溫度循環(huán)后的零點(diǎn)變化的趨勢(shì),。各次間沒(méi)有大的波動(dòng), 總的趨勢(shì)是逐漸趨于穩(wěn)定,。通過(guò)兩種測(cè)試方法并行對(duì)傳感器的長(zhǎng)期穩(wěn)定性考核, 可以論證: 這些傳感器的零點(diǎn)輸出隨時(shí)間漂移很小, 長(zhǎng)期穩(wěn)定性好, 必然可以保持液位變送器能夠穩(wěn)定、可靠,、長(zhǎng)期地工作,。