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產(chǎn)品簡介
詳細(xì)介紹
AALBORG流量計(jì)
美國Aalborg Instruments & Controls, Inc成立于1972年,，是世界上*的氣體質(zhì)量流量計(jì)/控制器的生產(chǎn)廠家，其產(chǎn)品廣泛用于微電子工藝、真空鍍膜,、 材料科學(xué) ,、石油化工、醫(yī)藥,、環(huán)保等領(lǐng)域,。
產(chǎn)品特點(diǎn)：性價(jià)比高、響應(yīng)速度快,、可靠性高,，易于集成、環(huán)路保護(hù),、備總量計(jì)數(shù)器
典型應(yīng)用：CVD,、PVD、刻蝕,、等離子注入,、濺射、ITO,、玻璃鍍膜,、表面處理等鍍膜工藝 。
設(shè)計(jì)特點(diǎn)：
－剛性金屬結(jié)構(gòu)
－流程范圍從0開始到10sccm直到0到1000slpm
－zui大壓力500psig（34.5Bar）
－泄漏率1＊10-7氦氣
－NIST系統(tǒng)標(biāo)定可追蹤的證明
－可傾斜的LCD讀表
－0-5Vdc或4-20mA信號(hào)輸出
－電路保護(hù)
－可用作便攜式的設(shè)備
－0到100％比例顯示
－可配備流量計(jì)算機(jī)
精度：±1.5％滿量程,，包括59℉到77℉的氣體溫度（15℃到25℃）和5到60psia（0.4到4.1bar）的壓力,。可選±1％滿量程（標(biāo)定精度）,，在給定的溫度與壓力值條件下,。
重復(fù)性：±0.5％滿量程
回應(yīng)時(shí)間：實(shí)際流速±2％超過滿量程25-100％一般2秒
溫度系數(shù)：0.15％滿量程／℃
壓力系數(shù)：0.01％滿量程／psi（0.07bar）
氣體／周圍溫度：32℉-122℉（5℃-50℃）
輸出信號(hào)：0-5Vdc，zui小1000Ω,。4-20mA,、0-250Ω回路電阻
傳感器輸出：＋12Vdc；zui大200Ω,。＋24Vdc可選
時(shí)間恒量：800ms
氣體壓力：zui大1000psig（70bar）,。可選20psig（1.4bar）
流體接觸面材質(zhì)：A：GFC鋁系列為陽極電鍍鋁,、316不銹鋼,、銅和氟橡膠圓環(huán)
B：GFC17S，37S,，47S,，57S，67S,，77S不銹鋼系列：316不銹鋼,、氟橡膠圓環(huán)可選氯丁橡膠圓環(huán),。
方位靈敏度：水平到垂直旋轉(zhuǎn)低于15度；標(biāo)準(zhǔn)校準(zhǔn)是在水平位置
連接：GFC17和37：1／4"卡套螺紋VCR®或1／8"卡套可選（GFC17）
GFC47：3／8"卡套螺紋
GFC57：3／8"卡套螺紋
GFC67：1／2"卡套螺紋
GFC77：3／4"卡套螺紋
VCR®或3／4"卡套可選（GFC77）
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北京東方安諾生化科技有限公司
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