無(wú)論是科研還是工業(yè)生產(chǎn),，M-2000都可以滿足您的需求,，多樣的配置選項(xiàng)滿足不同用戶的要求。旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償*技術(shù)保證Delta的準(zhǔn)確測(cè)量,，CCD列陣的使用使全光譜掃描可在幾秒中內(nèi)完成,。

可選光譜范圍：

V型 370－1000nm
U型 245－1000nm
D型 193－1000nm
紅外擴(kuò)展 1000－1700nm

可選變角：

手動(dòng)連續(xù)可變

自動(dòng)連續(xù)可變

特殊微光斑選件：

25×60微米
 

M-2000 光譜型橢偏儀
無(wú)論是科研還是工業(yè)生產(chǎn)，M-2000都可以滿足您的需求,，多樣的配置選項(xiàng)滿足不同用戶的要求,。旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償*技術(shù)保證Delta的準(zhǔn)確測(cè)量，CCD列陣的使用使全光譜掃描可在幾秒中內(nèi)完成,。
Alpha-SE 光譜型橢偏儀
α-SE是一款高性?xún)r(jià)比的光譜型橢偏儀,。簡(jiǎn)約設(shè)計(jì)，理想的薄膜分析工具,。計(jì)算機(jī)通過(guò)USB口控制儀器,、數(shù)據(jù)采集。配置易用的數(shù)據(jù)分析軟件 易于使用 帶有高級(jí)選項(xiàng)的按鈕式操作 軟件技術(shù)* 基于旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償*技術(shù) 高速測(cè)量 十秒內(nèi)完成180個(gè)波長(zhǎng)的測(cè)量及數(shù)據(jù)的擬合 功能強(qiáng) 提供厚度,、光學(xué)常數(shù),、表面粗糙、界面層等 各種數(shù)據(jù) 應(yīng)用范圍 適用于各類(lèi)可見(jiàn)光譜段薄膜的研究及日常工藝控制
V-VASE 光譜型橢偏儀
V-VASE是一款經(jīng)典的自動(dòng)可變角,，單色儀分光的光譜橢偏儀,。可應(yīng)用于半導(dǎo)體,、電介質(zhì),、聚合物、金屬,、等各類(lèi)薄膜的研究和分析,。自動(dòng)相位延遲技術(shù)保證了測(cè)量準(zhǔn)確性，*的工藝保證了測(cè)試重復(fù)性,。具有靈活多變測(cè)試功能的V-VASE可用于各類(lèi)研究中,。
IR-VASE 光譜型橢偏儀
IR-VASE可應(yīng)用于紅外材料光學(xué)特性的測(cè)量及分析,，IR-VASE在半導(dǎo)體上可應(yīng)用于摻雜濃度的測(cè)量。超寬光譜適合各種紅外材料,，旋轉(zhuǎn)補(bǔ)償技術(shù)保證測(cè)試數(shù)據(jù)的準(zhǔn)確性,。IR-VASE是紅外橢偏儀中的*產(chǎn)品。
VUV-VASE 光譜型橢偏儀
UVV-VASE是一款真空紫外橢偏儀,，通常用來(lái)測(cè)量及研究薄膜的紫外光學(xué)特性,，如光刻膠等。
T-solar 光譜型橢偏儀
T-Solar是為光伏行業(yè)量身定制的一款光譜橢偏儀,，無(wú)論是硅電池（絨面）還是薄膜電池,，都可以用T-Solar來(lái)測(cè)量。T-Solar基于M-2000,，是M-2000的一個(gè)特殊配置版,。